微纳米功能薄膜技术研究通过验收
- 2015/12/30 16:26:44 14629
- 来源：上海市计量测试技术研究院
纳米薄膜是指由尺寸为纳米数量级(1~100nm)的组元镶嵌于基体所形成的薄膜材料，它兼具传统复合材料和现代纳米材料二者的优越性。纳米薄膜可以改善一些机械零部件的表面性能，以减少振动，降低噪声，减小摩擦，延长寿命。这些薄膜在刀具、微机械、微电子领域作为耐磨、耐腐蚀涂层及其它功能涂层获得重要应用。纳米薄膜的分类，按薄膜的用途可分为纳米功能薄膜和纳米结构薄膜。纳米功能薄膜是利用纳米粒子所具有的力、电、光、磁等方面的特性，通过复合制作出同基体功能截然不同的薄膜。纳米结构薄膜则是通过纳米粒子古河，对材料进行改性，以提高材料机械性能为主要目的的薄膜。
微、纳米功能薄膜材料在战略性新兴产业中扮演非常重要的角色，已被广泛应用于太阳能电池、集成电路、半导体存储器件、气体传感器等领域。而针对薄膜开展测量方法研究也是确保产品质量，改进生产工艺，以及查找产品失效原因的基础。项目组结合当前微、纳米薄膜测量研究难点，开展了利用辉光放电发射光谱分析金属氧化物膜的方法研究，完成了《表面化学分析辉光放电发射光谱金属氧化物膜的分析》国家标准制订。新材料的研究和创新必然是未来的科学研究的重要课题和发展基础，其中由于纳米材料的特殊的物理和化学性能，以及由此产生的特殊的应用价值，必将使其成为科学研究的热点。
该标准的制订为功能薄膜的测量提供可依靠的标准方法，也为相关薄膜测量仪器的研制以及薄膜测量结果的一致性提供技术支持，填补了我国在利用辉光放电发射光谱分析金属氧化物膜标准方法的空白。项目组围绕项目研究内容发表研究论文3篇，制定国家标准1项。项目研究成果得到验收专家的一致认可。
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