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中美携手促进MEMS技术在中美的发展

2015/10/29 9:00:30    26087
来源:中国半导体行业协会
摘要:IMT和北大微电子学研究院携手加快MEMS技术在中美的发展。
  【仪表网 企业风向标】2015年10月28日,美国大的纯MEMS技术和制造服务提供商IMT公司(Innovative Micro Technology)日前自豪地宣布:公司已与北京大学微电子学研究院签署战略合作伙伴协议。该协议着眼于为两个组织在技术开发和MEMS器件制造等领域内构建合作框架,并以此促进北京大学微电子学研究院的在校本科生和研究生潜心于研究MEMS技术。


 
微机电系统(MEMS)器件用于为当今的电子产品创造对接“真实世界”的各种传感器件。这些传感器件通常可见于我们日常生活中所使用的各种电子产品之中,如智能手机、平板电脑、汽车以及构成“物联网”的其他连网设备。多年以来,IMT和北京大学微电子学研究院均开展了大量涉及MEMS的研究和开发活动,且各自都对该行业的技术进步做出了巨大贡献。

作为该协议的一部分,IMT将在MEMS研究和开发这一特定领域为北京大学设立奖学金,尤其关注MEMS制造工艺技术的开发。IMT将每年向三名(个)在MEMS技术领域内从事特定研究的学生个人或团队提供奖学金。其目的在于鼓励北京大学微电子学研究院的学生开展创新,并使业界广泛认识到MEMS制造工艺技术给通信、人类健康、农业优化和可再生能源等领域做出的贡献。两个组织拥有了一个共同的目标,即通过基于MEMS的传感技术来实现“物联网”的快速发展。

“数十年以来,北京大学微电子学研究院专注于MEMS技术的开发,已取得许多技术进步和突破,”IMT执行官CraigEnsley先生表示,“我们相信此次IMT有机会与北京大学微电子学研究院教师和学生合作,定能使两个组织双双大受裨益,还会提高MEMS制造工艺技术在整个电子行业的认知度。我们期待通过合作改进MEMS器件的功能性和可制造性,以实现传感技术在业内的更广泛应用。”

“通过与IMT这样的MEMS制造服务公司合作,尤其是通过北京大学微电子学研究院和IMT联合发起的MEMS制造工艺技术奖学金计划,”北京大学微电子学研究院教授李志宏先生表示,“我们让同学们看到了MEMS工艺技术开发在制造MEMS器件方面的行业和商业价值,并通过向他们展示毕业后可在独立MEMS器件制造公司或开放型代工厂担任工艺技术开发工程师这样一条高价值职业道路,来鼓励他们努力钻研MEMS工艺技术开发。此外,由于北京大学微电子学研究院一直在进行许多MEMS研究项目,并已联合众多商业公司开发了许多MEMS器件,所以北京大学微电子学研究院与IMT之间的合作,可极大地缩短或加速从MEMS研发原型设计向商业化大规模生产的过渡。”

今年九月,在北京大学微电子学研究院教职员对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后,IMT颁发了2015年度的三项奖学金。获得奖学金的分别是刘鹏和张洪泽两位博士生,以及刘姚萍和张灵倩组成的团队。这些学生在MEMS工艺技术开发这一领域内做出了突出的贡献,他们在MEMS工艺技术方面取得了突破,在MEMS器件制造和相应的应用中均具有巨大的潜在影响和前景。这是首项在中国专门针对MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金。

Innovative Micro Technology公司简介

  IMT(Innovative Micro Technology)公司是的纯MEMS制造商和代工合作伙伴,拥有多样化的客户群和产品类型。IMT成立于2000年,专门生产微机电系统(MEMS)器件。IMT的基础设施面积为130,000平方英尺,其中包含一个30,000平方英尺的100级超净室/制造厂,是世界上大的、装备完善的独立MEMS制造厂之一。该公司致力于大规模制造,可提供从设计到生产的完整制造服务。IMT目前在各种应用领域拥有50多个客户,这些应用领域包括继电器和继电器阵列、药物研发、药物投送、生物医学植入片和细胞筛选器、微流体、显示器、惯性导航、光通信、印刷、各种传感器、夜视仪、红外线发射器、电话/DSL转换、射频器件、电源管理等。IMT的首要目标是与其他公司合作开发和制造基于MEMS技术的产品。

北京大学微电子学研究院简介
  
北京大学微电子学研究院(IME/PekingUniv.)是中国的微电子/纳米电子科技研究和教育基地。其特点是拥有一套完整的教学、培训和研究体系,并配有各种先进设施。该研究院的雄厚实力反映在其水平优异、数量充足的教职员工队伍上:22位教授、4位教授级工程师、22位副教授、9位工程师和12位助理教授。他们中有很多人是公认的微电子学专家,包括举世闻名的科学家王阳元教授,他还是中国科学院院士。该院还有三间配有先进设备的或部级重点实验室,这些先进设备与世界上其他大学的设备不相上下。该院每年招收本科生约70人,硕士生和博士生40余人。

北京大学微电子学研究院微机电系统(MEMS)中心成立于1996年,是微米/纳米加工技术重点实验室的一部分。其包含对硅基微纳加工技术、微纳传感器与执行器和微纳系统集成技术的基础研究和应用研究。近五年来,在会议和期刊(如IEEEMEMS、Transducers、MicroTAS、Small、LabChip、JMEMS和JMM)上发表了50余篇高质量研究论文。该中心还致力于促进其研究成果的产业化。例如,FirstMEMS有限公司通过应用该中心的MEMS技术批量生产了压力传感器,由此为中国大陆带来了创新。

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