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沈阳仪表院IC光刻精密紫外反光镜

2014/3/12 10:13:53    6889

来源：?沈阳仪表院

摘要：沈阳仪表院汇博光学公司经过技术攻关，近期成功研制出精密紫外反光镜新产品。

　　仪表网讯    沈阳仪表院汇博光学公司经过技术攻关，近期成功研制出精密紫外反光镜新产品。该产品的设计制造难度很大，在2013年之前，国内处于空白，只能依赖进口。由于国内没有竞争，进口产品的市场价格虚高。
 

　　2013年我院汇博光学应行业发展及市场需求，组成了项目组，开展了专项研究。经过一年的攻关，IC光刻应用的紫外反光镜达到了非球面面型精度0.05mm、曝光所需波长反射率大于95%、耐高温450度等关键技术指标。产品经顾客试用，满足应用要求。现已开始小批制造，以较高的性价比，及时方便的服务，受到行业内的欢迎。目前光学平台贸易商Edmund也提出了合作的意向，有意在市场推广应用。
 

　　项目不仅在IC光刻应用精密紫外反光镜产品取得了共性技术进步，在大口径精密非球面加工和检测技术、非球面耐高温薄膜的镀制等获得技术突破，并将共性技术推广应用在数字投影成像、机车照明灯等相关薄膜器件领域，促进了光学薄膜行业及各应用领域的行业技术进步。

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