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微纳功能器件测量方法两项国家标准正报批

2013/10/29 14:24:48    16454

来源：仪表网

摘要：日前，《微纳功能器件表面微区测量和粒度分析方法研究及其相关国家标准的制订》通过验收。项目完成的《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定》和《粒度分析单颗粒的光学测量方法第2部分液体颗粒计数器光散射法》2项国家标准的编写，现正报批。

　　导读：日前，《微纳功能器件表面微区测量和粒度分析方法研究及其相关国家标准的制订》通过验收。项目完成的《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定》和《粒度分析单颗粒的光学测量方法第2部分液体颗粒计数器光散射法》2项国家标准的编写，现正报批。
　　
　　日前，上海市计量测试技术研究院材质中心承担的上海市科委标准专项《微纳功能器件表面微区测量和粒度分析方法研究及其相关国家标准的制订》（11dz0502100）通过了项目验收。
　　
　　随着我国新材料研发产业和先进制造业的快速发展，纳米功能器件已广泛应用于太阳能电池、集成电路、LED光电材料和高性能信息存储器等领域，微纳米功能器件事业日新月异。我国在纳米功能器件领域的研究具有一定的发展优势和规模，因此开展纳米器件标准测量方法研究十分迫切。
　　
　　本项目通过对微纳功能器件测量方法研究，完成了《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定》和《粒度分析单颗粒的光学测量方法第2部分液体颗粒计数器光散射法》2项国家标准的编写，现正报批。如果该2项国家标准顺利颁布实施，将为俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和液体颗粒计数器等纳米检测仪器提供统一的标准测量方法，有效地保证各单位间测量结果的准确性、可比性，能够对获得更为的纳米器件测量表征结果提供技术支持，保障我国纳米功能器件等新材料产业的快速发展。

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