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序号

货物名称

技术参数及要求

是否进口

数量

所属行业

1

近红外激光精密操控系统平台

1.平台尺寸：约1800*1200*800 mm，台面材料：约厚4-5 mm的高导磁430不锈钢面板和碳钢底板以及全钢侧板，厚度：约200mm，阻尼方式：宽带阻尼，精密型专业阻尼减振器，密封隔离杯：高强度聚合物成型，单独密封每个螺纹孔，密封孔类型：约19mm深度密封孔，防尘防水防小物件掉落到光学平台内部，蜂窝芯：钢制蜂窝芯，由高强度蜂窝型薄钢板垂直粘接后，相互组合而成，整个平台采用钢-钢粘接成型，提高热稳定性，平面度：优于0.1mm/m²，台面粗糙度：粗糙度优于0.8µm，变形量：优于2µm/m²，固有频率：＜5~7 Hz。

2.激光器及控制器单元：

1）中心波长: 1651nm，波长精度：+/-1nm，最大电流：225mA，温控电流：≤1A，温控电压：≤2V，输出功率：＞15mW，封装类型：蝶形14针引脚封装，光纤类型：PMF，连接器类型 : FC/APC；控制器：最大输出电流：≥500mA电流源噪声：≤1.0µA，电流分辨率：≤10µA，电流精度：≤±0.1mA，热稳定性：<10 ppm/°C，输出功率：≥36W，温控稳定性：≤0.0005°C/°C，通讯接口：至少有GPIB，RS-232和以太网可选。

2）中心波长: 1600nm，波长精度：+/-1nm ，最大电流：225mA，温控电流：≤1A，温控电压：≤2V，输出功率：＞20mW ，封装类型：蝶形14针引脚封装，光纤类型：PMF，连接器类型 : FC/APC。控制器：最大输出电流：≥500mA，电流源噪声：≤1.0µA，电流分辨率：≤10µA，电流精度：≤±0.1mA，热稳定性：<10 ppm/°C，输出功率：≥36W，温控稳定性：≤0.0005 °C/°C，通讯接口：至少有GPIB，RS-232和以太网可选。

3.放大器：范围：≥1mHz～500 kHz ，动态保留范围：≥120dB，电压输入范围：≥10 mV - 1 V，噪声：≤2.5 nV/√Hz @1 kHz，时基：≥10MHz，相位漂移：<0.002°/°C@＜20kHz，时间常数：≥1 µs - 30ks，显示屏：全彩色640×480触摸屏显示，数据显示通道数：≥4个，计算机接口: GPIB，RS232，USB及以太网接口可选

4.波长测量单元：被测激光类型：连续或者准连续（重频＞10MHz），波长范围：MIR: 1.5-12 μm，精准度：±0.2 ppm，± 0.0002 nm @ 1000 nm，± 0.002 cm-1 @ 10,000 cm-1，± 60 MHz @ 300,000 GHz，重复精度： 0.1 ppm (1 pm @ 10 μm)，校准： 内置稳频HeNe激光器，测试速率：2.5 Hz，预热时间：＜15mins，最小输入功率：MIR: 120 - 925 μW。

5.斩波器1个：频率：0.01Hz，切割范围：1/2 to 1/15x，频率漂移：<20 ppm/'C，输入输出连接器：BNC，显示器类型菜单控制：240×124 Pixel LCD，工作温度10-40°C。

6.光纤光开关（含驱动器）：1*2开关，1550nm，双级，标准，尾纤SMF-28, 带900µm保护套管，长1米，FC/APC接头。开关频率2KHz，工作波长：1520-1580nm，插损：<1dB, 典型0.7dB，回损：典型55dB，开关速度：<10ps。

7.数据采集器：最大单端模拟输入通道数量: 32，模拟输入分辨率: 16bits，最大采样率: 2MS/s，模拟输出通道数量: 4，最大更新速率: 2.86MS/s，总线连接器: USB 2.0，计数器/定时器数量: 4，双向数字通道数量: 48，模拟输入FIFO缓存大小: 2047 样本，同步采样: 否，模拟输入绝对精度: 1660 µV。

8.信号发生单元*2：1）频率160M；2）采样率:2.4 GSa/s，3) 脉冲频率：1μ~60MHz，占空比: 0.001 ~99.999可调,3) 垂直分辨率:16 bit, 4）三角波：1μ~5MHz，5）8 位高精度频率计，可测试 0.1Hz~400MHz 的频率范围，6）提供功能强大的波编辑功能，支持手动、直线、坐标、 方程式绘图等多种绘图方式，方便、快捷地生成波形。

否

1套

工业

2

多通吸收池

1.基长：50cm

2.尺寸：约10cm*10cm*55cm

3.工作模式：双光路工作模式

4.有效光程：30m、70m

5.波长范围：400nm~9μm

6.出入光模式：单端输入输出

7.工作温度：-10℃~40℃

8.工作湿度：5~98%RH  无凝露

9.储存温度：-20℃~70℃

10.材质：铝合金主体，玻璃腔体，不锈钢支架

11.进出气接口:1/4卡套接口

12.体积：2L。

否

1台

工业

3

太阳追踪仪

1.精度：跟踪精度优于0.01°

2.工作模式：图像精跟踪模式及静默粗跟踪模式结合

3.重量：＜3kg

4.工作波长：近红外光纤接收太阳光工作波长范围（1.26~1.8μm）

5.软件：带控制软件

6.尺寸：约20cm*15cm*20cm

7.工作温度：-10℃~50℃

8.工作湿度：5~98%RH  无凝露

9.储存温度：-20℃~70℃

10.材质：铝合金主体、三角支撑架

11.供电电压：12V DC

12.转动角度：水平360°，俯仰-90°~+45°

13.电机控制步长：0.001875°

14.图像：图像、质心实时显示

否

1台

工业

4

小巧型匀胶机

1.转速范围：100-9999 RPM，转速分辨率：1RPM

2.大单步步长3000S，旋转时间分辨率1S

3.加速度可控范围：100-9999RPM/S

4.可处理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圆晶底物

5.液晶文本显示，可提供中英文操作界面

6.快速运行和程控运行可选，多5组5步的程控操作模式

7.100W直流无刷电机，宽电压适用：AC100-230V输入

8.标配三种直径规格真空载物盘(直径10mm、25mm、2英寸)

9.铝合金着色氧化外壳，耐腐蚀开模内腔

否

1台

工业

5

通风橱

1.结构组合：采用三段组合式柜体，上部柜体（通风柜），中间（操作台面），下部柜体（内含单侧独立抽气式组成柜及另侧独立水、电、管线系统容纳柜设计，尺寸：约1200*850*1500mm

2.照明：采用30W日光灯

3.工作面风速：0.4～0.6m/s

4.电器配件：万用插座（220V/10A）、日光灯、风机开停控制

否

1套

工业

6

1200℃微型开启式管式炉

1.采用双层壳体结构并带有风冷系统

2.炉膛材料采用高纯氧化铝纤维

3.可以作为模块，DIY ALD CVD PVD 蒸发炉、回转炉等

4.炉膛表面涂有高温氧化铝涂层

5.最高温度: 1200℃（≤30min）

6.连续工作温度: 1100℃

7.推荐升温速率:≤10℃/min

8.加热区：200mm

9.热偶：K 型热偶

10.加热元件：掺钼铁铬铝合金

11.电压：220V, 额定功率：1.2KW

12.石英管口径：Φ50 x 600mm

13.真空度：10-2torr (采用机械泵)

14.安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MP

15.配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封

否

1台

工业

7

1200℃开启式管式炉

1.设有开门断电功能

2.采用双层壳体结构并带有风冷系统

3.炉膛材料采用高纯氧化铝纤维

4.炉膛表面涂有高温氧化铝涂层

5.工作温度：1200℃（＜0.5 小时）连续工作温度：1100℃

6.建议加热速率：≤10℃/min

7.加热区长度：400mm

8.加热元件：掺钼铁铬铝合金

9.电压：AC220V 50Hz

10.功率：3KW

11.热电偶：K型

12.配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封

13.石英管口径可选：Φ50 x 1000mm 和  Φ80 x 1000mm各一个

否

2台

工业

8

等离子体清洗机

1.腔体材质：不锈钢表面处理

2.电源：AC 220V

3.工作电流：整机工作电流不大于 5A（含真空泵）

工作功率：整机工作功率不大于900W（含真空泵）

★4.电源功率：50-600W 连续可调（全智能触屏操作界面）（投标文件中提供实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件）

5.频率：40KHz

6.频率偏移量：＜0.2KHz

7.特性阻抗：50 欧姆，自动匹配

8.腔内压力：1kpa-100kpa

9.气体路数：高精密4路浮子流量计，采用4路气体设计，可单独或混合2-4种气体清洗

10.气体流量：10-100mL/min（可调）

11.过程控制：全自动控制与手动（PLC人机界面）

12.清洗时间：1-900 s可调

13.清洗功率大小：50W-600W连续可调

14.内腔尺寸：约ø150mm*270mm

15.外形尺寸：约500mm*400mm*450mm

16.真空泵：抽速4L/s

17.真空室温度小于70℃

18.冷却方式：强制风冷

否

1台

工业

9

全自动离子溅射仪

1.工作原理:直流溅射

2.输入电压:220V/50Hz

3.溅射电压:2400V

4.溅射时间:1-999s

5.最大功率:500W

6.靶材尺寸:Ø57*0.12mm（Au）

7.可选靶材:金、铂、银、铜等常用金属靶材

8.真空泵:直连式两级旋片式真空泵，抽速1.1L/s

9.真空室:Ø130*130mm 高强度玻璃

10.极限真空:≤1Pa（电阻式真空规）

11.抽气节拍:< 90s

12.样品杯:可放置Ø90样品1个，Ø25样品4个，Ø15样品6个

13.样品室进气:自动，高精度微量进气阀

14.进气接头:Ø4 快拧接头（外径 4mm，内径 2.5mm 气管）

15.工作电流:2-30mA 任意可调

16.颗粒大小:20-40nm

17.全智能触屏操作界面

否

1台

工业

10

四探针测试仪

1.卡盘台采用便捷的调节模式，X/Y方向的行程是:4英寸*4英寸，高精度并带有自锁阻尼

2.XY轴移动丝杆需要有外壳保护装置，方便维护保养

3.双针座平台

4.卡盘角度可旋转微调，调节精度0.01°

5.设备需带自适应减震结构有隔震底座可增强弹性支持

6.卡盘平整度：±10µm

7.真空吸附方式：中心吸附孔+外围多孔吸附

8.卡盘夹具皆有高漏电精度要求

9.显微镜清晰及高倍率放大要求

10.CCD分辨率达到1920*1080；帧率60fps

11.探针座磁力吸附，带磁力开关；X-Y-Z 方向大滚轮方式，移动行程分别为14mm；移动分辨率0.6μm/度

12.数字源表要求：5英寸高分辨率电容触摸屏图形用户界面（GUI），电压量程: 20mV–200V，电流量程：10nA–1A，基本准确度：0.012%，分辨率：6½数位，宽带噪声：2mVrms（典型值），扫描类型：线性，对数，双线性，双对数，定制源存储器，读数缓存>250,000，>3000读数/秒，SCPI 和TSP 脚本编程模式，接口：GPIB,USB, 以太网(LXI)

13.上位机1台：配 I-V 表征器应用软件

13.1永久浮动许可证；

13.2自动识别设备，可以迅速设置测试，获得被测器件的实际数据。通过立即绘制数据图，在读表中快速提供数据的统计汇总，查看数据；

13.3能够独立控制最多8台仪器，设置多台仪器测试；

13.4可以保存测试配置，迅速复现测试；

13.5内置示图和比较工具，可以迅速发现测量异常信号和趋势；

13.6可以以随时可用的格式导出数据，编制报告，进一步进行分析。

否

1套

工业

11

半导体材料电阻测试仪

1.超大液晶人性化操作界面，多种测量参数可选，测量数据自动保持功能，超快测量并显示读数，量程有自动和手动双模式，档号显示及档计数功能，兼容多种材料测量，专业的通讯接口可以与PC进行数据通讯及对仪器的远程控制

2.显示器：高清 LCD 液晶显示，尺寸≥4.3英寸

3.电阻率：1µΩ･cm－2MΩ･cm

4.方块电阻：10µΩ/sq－2MΩ/sq，模拟电阻：1µΩ－2MΩ

5.精度：电阻率、方阻：4%；模拟电阻：0.1%

6.量程方式：自动，保持

7.测量速度：快速:10 次/秒，中速: 5次/秒，慢速: 2次/秒

否

1套

工业

12

示波器

1.模拟通道带宽：100MHz；4通道

2.实时采样率：2GSa/s

3.垂直分辨率：12-bit

4.低本底噪声，全带宽下低至70μVrms

5.波形捕获率最高达500000帧 / 秒（Sequence 模式），120000帧 / 秒（正常模式）

6.支持256级波形辉度及色温显示

7.存储深度最高达200Mpts

8.数字触发智能触发：边沿、斜率、脉宽、窗口、欠幅、间隔、超时、码型、视频触发（支持 HDTV）、前提边沿、第 N 边沿、延迟、建立/保持时间

9.串行总线触发和解码，支持的协议包括标配的 I2C、 SPI、UART、CAN、LIN

10.分段采集（Sequence）模式，最大可以将存储深度等分为80000段，根据采购人设置的触发条件，以非常小的死区时间分段捕获符合条件的事件历史模式（History），最大可记录80000帧波形

11.数十种自动测量功能，支持测量统计、Gating 测量、Math 测量、History 测量、Ref 测量。支持对测量参数的直方图和趋势图统计

12.4 路独立的波形运算，支持 2M 点 FFT 和 20 多种常用时域运算；支持自定义表达式实现复杂的嵌套运算

13.多种高级数据分析和处理功能：搜索和导航、高速模板测试、波特图、电源分析（选件）、计数器等

14.尺寸≥10.1 英寸电容式触摸显示屏，分辨率≥1024*600

15.丰富的接口：SBUS（Siglent 逻辑分析仪接口）、3个 USB Host、USB Device、LAN、Pass/Fail、 Trigger Out 等

16.支持外接鼠标和键盘操作；内建的 WebServer 支持 通过网页控制仪器；支持 NTP（网络时间协议）支持丰富的 SCPI 远程控制命令，多国语言显示及嵌入式在线帮助

★17.配备专业时域信号分析和示波器控制软件（投标文件中提供实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件）

17.1 PC 端进行离线波形数据分析, 支持最大2路离线波形数据进行分析，支持分析单路离线波形数据量达2Mpts

17.2通过控制采集后，可在线读取远端的波形数据，然后执行本地数据分析，而不依赖于示波器本身的分析功能

17.3和示波器软件同平台，用户无需担心软件的后续维护，memory数量：2 ，memory点数：2M点/通道，Math数量：2，测量数量：5，在线控制，最大存储深度：2M点/通道，功能：解码，测量，数学运算，导航，模板测试，光标测量，分析门限，远端示波器管理。

否

1台

工业

13

近红外光场调控及精密测量系统

系统主要包含如下：

1）近红外空间光调制器 1台

1.液晶类型：反射式

2.调制类型：纯相位调制

3.像元大小：8μm

4.像素数：1920×1080

5.像面尺寸：0.69" （15.36mm×8.64mm）

6.开口率：87%

7.相位范围：≥2π（1064nm） 稳定度RMS≤0.13π 线性度R²≥0.99

8.刷新频率：60Hz ，响应时间≤30ms

9.数据接口：DVI/HDMI

10.损伤阈值：20W/cm²

11.软件可实时在线调节和控制各类光场参数；SDK 支持多种开发语言，包括 Labview、C/C++、C#、VB.net、python、Matlab，并提供完整Demon 程序

2）高稳定激光器 1台

1.波长（nm）：1064±1

2.工作模式：CW

3.输出功率（mW）：500-1000

4.功率稳定性（rms，超过4小时）<2%

5.横向模式TEM00

6.M2系数<1.2

7.光束发散，全角(mrad) <1.5

8.光束直径：1/e2(mm) ~1.5

9.距基板的梁高度(mm)：24.8

3）三维位移台 2套

1.围绕系统光轴上的点旋转

2.两个M3x0.5安装孔，用于安装多轴位移台配件

3.差分测微头驱动器，用于手动调节

4.载物台高度112.5mm，兼容6轴位移台

5.水平、轴向和竖直平移

6.水平和光轴行程: 13mm的滚珠轴承运动

7.竖直行程: 6 mm的挠性运动

8.±5°的俯仰和偏转挠性运动

4）二维扫描振镜系统1套

1.双轴大光束扫描振镜系统

2.梁直径10mm（最大值）

3.输入/输出垂直光束偏移等14.7mm

4.重复性15µrad

5.线性度（50%全行程）99.9%

6.最大机械扫描角度±20.0°（w/0.5 V/deg缩放）

7.带宽（全行程）25 Hz方波35 Hz正弦波，带宽（50%全行程）65Hz方波130Hz正弦波

8.小角度（±0.2°）带宽1kHz，小角度阶跃响应400µs

9.模拟位置信号输入范围±10V

10.机械位置信号输入比例因数1.0V、0.8 V或0.5V/度

11.位置传感器输出40-80µA

12.电源：低噪声线性电源，可减小电干扰，能够同时为2个伺服驱动卡供电

5）平场半复消色差物镜 1个

平场萤石成像物镜，带校正环，60倍，0.85NA，0.31-0.4mm工作距离

6）铟砷化镓相机1个

1.传感器类型：InGaAs

★2.光谱范围：400nm-1800nm（投标文件中需提供实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件）

★3.像元尺寸：5.0μm x5.0μm（投标文件中需提供实物图片或产品彩页或截图或产品说明书扫描件）

4.ADC: 12Bit/ 8Bit

5.帧率&分辨率:

8Bit:400fps@640x512、753fps@320 x256 12Bit:212fps@640 x512、400 fps @320 x256

6.硬件图像缓存: 512MByte

7.转换增益: 42.29e/ADU

8.动态范围: 59.7dB

9.读出噪声: 176.7e

10.满井电荷: 173.23ke

11.最大信噪比：52.39dB

12.灵敏度: 121mV

13.暗电流: 383e/s(0℃)510e/s(10℃)638 e /s(20℃)

14.增益范围: 1x-15x

15.曝光时间范围: 15μs-60sec

16.快门模式: 全局快门

17.Binning 模式: 软件 2x2，3x3，4x4

18.数据接口: USB3.0

19.数字 IO: 1路光耦隔离输入，1路光耦隔离输出，2路非隔离输入输出口

20.滤光片: 400-1800nm(标配)

21.CRA: 2.35度

22.软件: 完整的SDK开发包/ToupVicw

23.制冷温差: 低于室温25℃

否

1套

工业

14

▲散射光场波前整形及高分辨显微成像系统

一、平台要求

1.台面尺寸：约2400x1200x800mm，

2.主要材料：高导磁不锈钢，台面厚度： 200mm

3.内核结构：井字蜂窝焊接，工作台板厚度：6mm

4.安装孔：25mm 孔距 M6 螺纹孔，孔精度：±0.03mm，孔距精度：±0.05mm，沉孔精度：±0.05mm，孔垂直度：±1°，高度：800mm，平面度：0.05mm/1000mm，粗糙度：＜0.6μm，

5.隔振方式：空气弹簧（标配超静音空气压缩机），固有频率：＜2Hz，自平衡支撑。

二、单模绿光激光器 1台

1.波长（nm）532±1

2.工作模式CW

3.输出功率>200 mW

4.功率稳定性（rms，超过4小时）<1%

5.横向模式TEM00

6.M2系数<1.1

7.孔径1/e2处的光束直径(mm) ~1.5

8.光束发散，全角(mrad) ~1.5

9.距基板的梁高度(毫米)24.8mm

三、科研相机2个

1.SCMOS小型科研级相机

2.2/3英寸制式，黑白sCMOS传感器，1920 x 1080像素(210万像素)；16bit

3.高量子效率(600 nm处约为61%)

4.曝光时间：0.029 ms to 7767.2 ms in ~0.03 ms Increments

5.无风扇设计，减少暗电流，不会导致振动和图像模糊现象加剧

6.读出噪声中值小于1 e-

7.触发和B门曝光模式

8.卷帘快门，带等效曝光脉冲(EEP)模式，用于同步光源

9.USB 3.0接口

10.支持正版操作系统

11.SDK和编程接口支持：C、C++、C#、Python和Visual Basic.NET API；LabVIEW、MATLAB和µManager第三方软件

12. 1/4"-20螺孔，用于接杆安装

四、显微物镜套件 2套

1. 复消色差物镜，倍率 100X，工作距离6.0 mm，数值孔径 0.70，入瞳2.8mm，分辨率 0.5 µm，工作波长：可见/近红外；

2.物镜架，RMS(4/5”-36)标准物镜；角度调节螺纹副：M6×0.25；俯仰偏摆调节范围：±4°；

3.傅里叶变换透镜：Φ50.8；f300

五、可见波段空间光调制器  1台

1.面板分辨率：1920 x 1200(WUXGA)

2.工作波长：400 – 850nm

3.像素单元：8µm

4.填充因子：>92%

5.高速帧率/刷新率 60Hz

6.相位调节范围：2π

7.典型调制范围2π at 633nm

8.相位闪烁(RMS)b< 0.01%

9.支撑外触发

六、功率计套件 1套

含数字功率和能量表头，硅探头，400nm - 1100nm，50nW – 50mW，激光防护镜  1个OD5+@190-380nm；OD2+@400-532nm；可见光透过率：21%

七、电控精密三维位移台 1套

1.2个20mm行程一维平移台+1个10mm行程垂直台+控制器+I/O线缆+控制手柄

2.平移台参数：行程：20mm，光栅尺传感器分辨率：2nm，最小步距：2nm，双向重复精度：±100nm，直线度/平面度：±2μm，俯仰/偏摆：±150urad，最大推拉力：5N，断电加持力：6N，空载最大速度：8mm/s，最大推力最大速度：5mm/s，任意方向最大负载：0.5KG；台面尺寸约：45*45*14mm，自重：约75g

3.升降台参数：行程：10mm，光栅尺传感器分辨率：2nm，最小步距：2nm，双向重复精度：±100nm，直线度/平面度：±2μm，俯仰/偏摆：±150urad，最大推拉力：5N，断电加持力：6N，空载最大速度：8mm/s，最大推力最大速度：5mm/s，任意方向最大负载：0.5kG,台面尺寸约：45*45*38mm，自重：约220g

4.控制器和手柄：三维单独控制，含 3轴I/O线，长度约2m

八、消偏振分光棱镜 1个

已安装42×42×40mm同轴立方体外壳, 工作波长 450-650nm, 分光比 T/R：50/50 ± 5%±10%，吸收<15%

否

1套

工业

15

单光束光镊系统

基础版单光束光镊系统，用于捕获并操控粒子移动，通过CMOS相机实时显示粒子运动情况

一、光源模块：激光模组，安装于三维调节架；

1.可见光

2.自由空间输出，输出准直度可调

3.输出光功率>30mW

4.工作温度范围10 ℃-30 ℃

5.功率稳定性<3%

6.带电源适配器

二、向色镜+物镜：

1.650 nm左右短波通二向色镜，安装于同轴立方中

2.物镜：100x，油浸，NA1.25，RMS螺纹

三、CMOS模块：

1.CMOS黑白相机

2.GigE接口

3.2592×1944，单像素大小2.2μm×2.2 μm

4.消色差透镜+2片短通二向色滤光片

四、照明模块：

1.白光LED

2.最大输出光功率3W，带电源适配器

3.0-40 ℃

4.带准直和会聚元件

五、运动控制：

3轴侧驱位移台

1.台面尺寸：约65×65 mm，

2.行程：13mm

3.直线度（竖直、水平方向）：<3μm

4.移动平行度：<15μm

5.微分头最小刻度：10μm

6.带样品夹持架

六、样品制备工具：

4μm二氧化硅球、4μm聚苯乙烯微球、剪刀、镊子、载玻片、盖玻片、双面胶、吸管

七、光路调试工具：用于光路高度、光路水平、光路准直调节 ，面包板及把手：面包板300×450mm，双把手（含安装服务）

否

1套

工业

16

顶砧压机

1.对称型

2.外径：47.65mm

3.高度：34.43mm

4.开角：60°

5.工作距离：18mm

6.温度范围：0-550℃

7.垫块：圆孔，条孔

否

1套

工业

17

压砧

1.台面直径：300µm

2.适合拉曼和PL光谱测试

否

1台

工业