《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》征求意见
- 2023/4/29 8:46:37 31686
- 来源：仪表网
【仪表网 行业标准】目前，由江苏省纳米技术标准化技术委员会(JS/TC53)归口并组织起草的地方标准项目《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》已进入征求意见阶段，现公开广泛征集意见(截止日期：2023年5月31日)，请填写下方征求意见表，并发送邮件至fangdan@szjl.com.cn。主要起草单位为苏州市计量测试院、苏州慧闻纳米科技有限公司等。
标准主要内容包括：一、适用范围；二、规范性引用文件；三、术语和定义；四、检测条件；五、检测项目和检测方法。
本标准规定了微机电系统半导体气体传感器的性能检测方法。本标准适用的微机电系统半导体气体传感器可检测气体种类包括又不仅限于甲烷、一氧化碳、硫化氢、氮氧化物等无机气体，以及烷烃、醇、醚、酯、酸、苯系物等挥发性有机气体。
随着人们对安全防控、环境监测、健康管理越来越重视，气体传感器已成为生产和生活不可或缺的一部分。半导体式气体传感器是研究最早、应用最广的一种气体传感器。基于微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)工艺的半导体气体传感器技术是目前半导体气体传感器发展的趋势，它不仅仅继承了传统半导体气体传感器高灵敏度、低成本、敏感材料多样性的优势，还通过MEMS工艺技术大大减小了传感器的体积、功耗，可以更好地适用于小型化和微型化器件的大规模生产，能够有效提升传感器的实用性。而且，借助于MEMS技术可以集成多个不同的传感器组成传感器阵列，结合算法进行拟合分析，可以改善器件整体的选择性，克服了单个半导体传感器选择性差，不能用于混合气体检测的缺点。
基于其优点，MEMS半导体气体传感器的应用优势也逐渐显露。目前应用较多的为智能家电，如集成在燃气热水器、空气净化器、空调等家用电器中，用于家居环境中各种气体的监测；还有应用于“电子鼻”中，用于泄漏监测、臭味或异味监测；另外，随着健康管理的观念逐渐深入人心，通过监测人体呼出气体的特定成分来反映或预警人体的健康状态近几年深受研究学者和体外诊断医疗企业的青睐，MEMS半导体气体传感器在这方面的应用潜力巨大。
江苏省是全国MEMS智能传感器产业基地之一，聚集了大量MEMS智能传感器研究、生产、应用企业，MEMS半导体气体传感器企业也融入其中。随着产业的发展以及MEMS半导体气体传感器应用的增多，产品的检测需求也随之增多。然而，国内外却没有针对MEMS半导体气体传感器的检测方法，本项目在于研究制定MEMS半导体气体传感器的检测方法，形成统一的、具有普遍适用性的检测标准，促进提升MEMS半导体气体传感器的产品质量，突出产品优势，提高产品市场认可度，促进行业健康快速发展。
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