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上海市地方标准《半导体行业污染物排放标准》征求意见

2022/10/19 9:15:13    21417
来源:仪表网
摘要:本文件规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测和监督管理要求。
  【仪表网 仪表标准】根据《地方标准管理办法》(国家市场监管总局第26号令)《上海市地方标准管理办法》(上海市人民政府令第8号)规定,上海市地方标准《半导体行业污染物排放标准(征求意见稿)》,现面向社会广泛征求意见,期限为2022年10月17日至11月16日。
 
  为贯彻《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》《中华人民共和国水污染防治法》《上海市环境保护条例》《上海市大气污染防治条例》,引导半导体行业企业生产工艺和污染治理技术的进步和可持续发展,结合上海市的实际情况,对DB31/374-2006《半导体行业污染物排放标准》进行修订。
 
  本文件于2006年11月1日首次发布,本次修订为第一次修订。本文件对DB31/374-2006的主要修订之处如下:
 
  ——调整了水污染物排放标准的标准分级;将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同一级别的排放标准,将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别;调整了大气污染物排放标准的排放速率控制方式,将原来按不同排气筒高度制定标准调整为执行同一标准;
 
  ——调整了污染物控制项目:增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、总锌、总硼、总钴、总锡、总铊、综合毒性;增加了大气污染物控制项目氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物、氮氧化物;
 
  ——调整了部分污染物项目的排放限值;收严了悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、总有机碳等10项水污染物项目的排放限值;收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物的排放限值;
 
  ——增加了厂界大气污染物控制点浓度限值;
 
  ——更新了部分污染物项目的测定分析方法。
 
  本文件参考GB/T 7466 水质 总铬的测定;GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法;GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法;GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法;GB/T 7475 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法;GB/T 7484 水质 氟化物的测定 离子选择电极法;GB/T 7485 水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法;GB/T 7494 水质 阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法;GB/T 11893 水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法等规程编制。
 
  本文件规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测和监督管理要求。本文件适用于半导体行业企业或生产设施的水和大气污染物排放管理,以及建设项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。本文件适用于半导体行业研发机构的水和大气污染物排放管理。
 
  污染物监测一般要求:
 
  1.企业应按照有关法律、《环境监测管理办法》和HJ 819等规定,建立企业监测制度,制定监测方案,对污染物排放状况及其根据需要对周边环境质量的影响开展自行监测,保存原始监测记录,并公布监测结果。
 
  2.新建企业和现有企业安装污染物排放自动监控设备的要求,按有关法律和《污染源自动监控管理办法》的规定执行。
 
  3.企业应按照环境监测管理规定和技术规范的要求,设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平台和排污口标志。
 
  4.新建企业应在污染物处理设施的进、出口均设置采样孔和采样平台;改(扩)建项目如污染物处理设施进口能够满足相关工艺及生产安全要求,则应在进口处设置采样孔。若排气筒采用多筒集合式排放,应在合并排气筒前的各分管上设置采样孔。
 
  5.实施执法监测期间,企业应该提供工况数据的证明材料。
 
  6.对企业排放废水和废气的采样,应根据监测污染物的种类,在规定的污染物排放监控位置进行,有废水、废气处理设施的,应在处理设施后监控。根据企业使用的原料、生产工艺过程、生产的产品、副产品等,确定需要监测的污染物项目。
 
  达标判定要求:
 
  采用手工监测时,按照监测规范要求获得的监测数据等于或者小于排放浓度限值时为达标排放。
 
  采用自动监测时,按照监测规范要求获得的有效小时均值等于或者小于排放浓度限值时为达标排放。
 
  若同一时段的手工监测数据与自动监测数据不一致,优先采用手工监测数据。
 
  实施与监督:
 
  1.本文件由市和区生态环境主管部门负责监督实施。
 
  2.企业是实施排放标准的责任主体,应采取必要措施,达到本文件规定的污染物排放控制要求。未遵守本文件规定的措施性控制要求,属于违法行为的,依照法律法规等有关规定予以处理。
 
  3.现有企业在本文件实施之日起180d内完成达标判定,制定达标规划,在过渡期内完成达标治理。VOCs治理设施应符合国家和地方安全控制要求,在开停车等非正常排放、事故排放等工况下,确因安全控制短期需要难以满足本文件要求,应及时向所属生态环境行政主管部门报告。

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