上海计测院项目获批上海市2022年度“科技创新行动计划”立项
- 2022/9/19 14:02:33 17237
- 来源：上海市计量测试技术研究院
【仪表网 仪表产业】近日，经申报推荐、形式审查、专家评审、立项公示等审核选拔，上海市计量测试技术研究院承担的“基于长光程FTIR法检测14nm及以下先进制程用电子特气中痕量氮氧化物杂质的检测方法研究”获批上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域立项。
集成电路制程用电子特气是电子工业生产不可或缺的原材料，电子特气的纯度与晶体缺陷及器件成品率密切相关。“基于长光程FTIR法检测14nm及以下先进制程用电子特气中痕量氮氧化物杂质的检测方法研究”项目将聚焦集成电路行业制程用电子特气的检验检测领域，针对14nm及以下先进制程用电子特气在集成电路制造中出现的质控空白，使用长光程傅里叶变换红外光谱法，提出一套检测电子特气中关键氮氧化物杂质的方法，可重点提升长光程FTIR操作应用的技术水平，形成仪器共享的操作流程和应用技术，有效提高傅立叶变换红外光谱仪的利用率，提升电子特气超痕量杂质的分析水平。
上海市计量测试技术研究院(SIMT)是我国最早建立的计量检定专业机构之一，是上海地区由国家授权的法定计量检定机构，也是国家计量行政部门批准设立的大区计量测试中心——“华东国家计量测试中心”，国家科技行政部门命名的国家级测试中心——“中国上海测试中心”，迄今已走过90年历程。
SIMT地处国内最重要的经济、金融、贸易、航运中心的上海市，随着上海市的工业化和科技的不断发展以及城市综合能力水平的提高，对计量和检测技术提出许多课题和要求。在国家和地方政府的大力支持下，SIMT的装备实力逐步增强，技术能力也不断得到提升，开展了大量技术规范的制修订，完成了诸多科学研究课题，并参与了许多重大工程和重大项目建设，每年检定、校准、检测的样品超过百万台(件)，在经济建设与社会发展中发挥了强有力的技术保障和支撑作用。
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