1.2亿元！中科院苏州纳米所2至12月采购意向公布
- 2022/4/15 9:07:35 16564
- 来源：仪表网
【仪表网 仪表产业】为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年2至12月政府采购意向公布，预算总金额11961.03万元。
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) | 预计 采购日期 |
| 1 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 2022年度研究所化学试剂 | A170114-化学试剂和助剂 | 研究所实验室化学试剂采购，满足研究所实验需求 | 458.000000 | 2022年03月 |
| 2 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 2022年度研究所危险废弃物处置 | C160599其他危险废弃物治理服务 | 研究所危险废弃物处置采购，满足相关法律法规要求 | 134.000000 | 2022年03月 |
| 3 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 超高速摄像机 | A02090504专业摄像机和信号源设备 | 名称：超高速摄像机 功能及目标： （1）924*768分辨率，最高拍摄速率：5000000fbs （2）快门速度：100ns （3）曝光时间：100ns （4）图像数量：180 （5）独特的uCMOS图像传感器具有924*768@700万帧/秒的超高速图像连续拍摄能力，最小曝光50ns。 采购数量：1台 能够清晰的拍摄并记录粒子的行动轨迹及粒子高速冲击穿透材料的过程和破坏形态。超高速摄像机可以捕捉防护材料在高速冲击过程中的破坏形态以及粒子穿透材料前后的变化。因此超高速摄像机是当前项目对防护材料进行微观研究分析的核心设备。 | 326.000000 | 2022年06月 |
| 4 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 高纯氢气5N | A0999-其他办公消耗用品及类似物品 | 氢气，纯度5N及以上，高纯氢的纯度要求指标参照GB/T 3634.2-2011；两年用量约45万标准立方；最低供气压力13Bar。使用气体时间：全年365天不能停供。一般为周一至周六白天工作时段送货。供应方式：鱼雷车，压差法计量用量。以实际公告为准。 | 295.000000 | 2022年05月 |
| 5 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 临时键合解键合机 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 需采购临时键合解键合机，主要功能如下：通过加热、冷却及压力来进行超薄键合及解键合工艺；可支持4、6、8英寸晶圆的临时键合解键合，目的是通过减薄工艺减薄工艺以及通孔技术开发，可以优化电力电子器件散热、高频响应等特性。这些问题的有效解决需要配置键合解键合设备以满足一系列复杂需求。采购数量为1套，超净实验室现有场务条件：独立配电柜、真空泵，能够满足该设备正常运行。以实际公告为准。 | 450.000000 | 2022年06月 |
| 6 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 湿氧氧化炉 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 需采购湿氧氧化炉，主要功能如下：可兼容6英寸及以下的垂直腔面激光器水汽氧化；配置N2工艺气体，常压水汽氧化工艺。湿氧氧化是垂直腔面发射激光器制备工艺中最重要的工艺步骤，其氧化结果对器件性能有着十分重要的影响，可解决氧化均匀性、氧化速率控制等问题，以进一步提升性能、提高良率以达到更高的项目需求。超净实验室现有场务条件：独立配电柜、循环水系统以及超纯氮气、氧气，经能够满足该设备正常运行。本设备无需特殊配套设备需求。以实际公告为准。 | 450.000000 | 2022年06月 |
| 7 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 单片清洗机 | A02100499-其他分析仪器 | 单片清洗机，具有兆声清洗功能，氮气吹扫功能，清洗过程自动控制，可去除晶圆表面纳米级颗粒物，采购数量1台。以实际公告为准。 | 180.000000 | 2022年03月 |
| 8 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 接触式光刻机 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 接触式光刻机，LED光源：150mm区域光强均匀性±2.5%；具备正面、背面对准；曝光模式：接近、软接触、硬接触、真空接触；采购数量1台。以实际公告为准。 | 198.000000 | 2022年03月 |
| 9 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 高真空回流炉（旧） | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 高真空回流炉（旧），温度范围：室温到500℃；极限真空度：＜10-7mbar；升温速率：＜200℃/分钟；降温速率：＜60℃/分钟；可进行吸气剂激活工艺。采购数量1台。以实际公告为准。 | 150.000000 | 2022年03月 |
| 10 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 多靶共溅射台 | A02100499-其他分析仪器 | 多靶共溅射设备，可以用2种及以上数量的材料共溅射，实现不同材料、不同比例之间的灵活控制；同时样品可进行加热，工艺前去除样品表面的水汽，以及提高薄膜的致密性等；设备配置LoadLock，既保证工艺腔的高真空环境，又能提高工艺效率。8寸兼容小尺寸样品的磁控溅射镀膜设备。以实际公告为准。 | 180.000000 | 2022年03月 |
| 11 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 电子束蒸发台 | A02100499-其他分析仪器 | 高均匀性蒸发设备，可以用于Al、Ti、Au、AlCu等材料的高均匀性镀膜工艺，在SAW、BAW器件中，薄膜的高均匀性分布非常关键，直接影响器件的良率。普通蒸发设备的均匀性指标只能做到±5％，无法满足SAW、BAW器件的高均匀性薄膜指标要求。以实际公告为准。 | 190.000000 | 2022年10月 |
| 12 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 低损伤ITO溅射（旧） | A02100499-其他分析仪器 | 实现低电阻率ITO薄膜沉积；实现高透光率的ITO薄膜溅射沉积；实现低的离子损伤，在ITO和GaN等材料的界面处不引入明显缺陷。以实际公告为准。 | 360.000000 | 2022年02月 |
| 13 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | F404办公区装修工程 | B07-装修工程 | 拟在研究所F404区域装修办公区域，配套F1实验室合作项目人员的办公区需求，主要构建办公区及会议室等公共区域；目前当区域为毛坯未装修，需要按照办公区的要求进行相关内部装修装饰工作，以满足相关场景的使用需求。以实际公告为准。 | 200.000000 | 2022年03月 |
| 14 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半自动半导体射频探针台 | A021199-其他电子和通信测量仪器 | 采购标名称：半自动半导体射频探针台； 实现主要功能：配合高频测试仪表，实现射频/毫米波器件测试，包括S参数测试、负载牵引测试等； 采购标数量：1； 采购标满足的质量、服务等要求： （1）测试频率范围，可实现从直流到67 GHz射频测试，后期可升级到110 GHz，最高可升级到500 GHz； （2）EMI屏蔽，> 30 dB (典型值) @ 1 kHz to 1 MHz；光衰减 ≥ 130 dB；光谱噪声基底 ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)；系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p ( ≤ 1 GHz)。 (3) 载物台温度，温控范围20~200 oC；温度精度±0.1 oC；温度均匀性<±0.5 oC（200 oC以内）. | 199.000000 | 2022年03月 |
| 15 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 常压金属有机物化学气相沉积设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购常压金属有机物化学气相沉积设备1台，需满足生长3片2英寸或1片4英寸的外延片；生长温度最高1300度，生长压力最高1000mbar；材料厚度和掺杂均匀性标准差≤3%；材料C和O杂质本底浓度≤1E17cm-3；InGaN量子阱发光波长标准差≤5nm。目的是提高绿光激光器性能的关键是MOCVD生长高质量大应变的绿光InGaN量子阱有弯曲，解决MOCVD生长过程中绿光InGaN量子阱存在的In偏析和热稳定性差的问题。由于InGaN材料的N汽相压力高，提高生长压力有望抑制In的偏析和改善InGaN量子阱的热稳定性。 | 1374.000000 | 2022年12月 |
| 16 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 磁控溅射设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购磁控溅射设备1台，需满足2英寸到6英寸兼容；材料厚度均匀性标准差≤5%；ITO方块电阻均匀性≤10%，目的是研制高性能绿光激光器的一个难点是解决绿光量子阱增益区在p型层生长过程中的热退化问题，途径之一是需要低温制备p型限制层，消除绿光量子阱热退化形成的暗斑缺陷，磁控溅射可以低温甚至室温沉积透明导电氧化物作为绿光激光器的p型限制层，有望解决此难题，从而研制高性能的InGaN绿光激光器。沉积工艺损伤小可以获得低的欧姆接触电阻，超平整薄膜可以降低透明导电氧化物的光损耗。 | 732.000000 | 2022年12月 |
| 17 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 真空解离与钝化 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购真空解离与钝化设备1台，需满足解理室真空度可达5E-10Torr；钝化室真空度可达2E-10Torr；专用的承片架可满足bar条12mm-15mm宽度,bar条腔长范围1.0mm-4.0mm；钝化室为电子束蒸发源，配备石英晶振测厚。目的是提高绿光激光器性能的关键问题之一是实现高质量的腔面镀膜，该设备能够防止bar条解理过程中腔面氧化导致的后续工作中出现腔面灾变。该设备是实现高功率绿光激光器的必须设备。 | 555.360000 | 2022年12月 |
| 18 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购原位Mask器件级图案化分子束外延设备设备1台，不仅具备优异的二维材料制备功能（可制备石墨烯、硒化物等多种新颖的二维材料），同时具备从材料生长到原型器件制作的能力。满足条件预处理室本底真空度优于5×10-10 mbar，衬底温度可达850℃；生长室本底真空度优于2×10-10 mbar，衬底温度可范围100K至1473K，2英寸衬底上生长的材料均匀性优于±1.5% ；掩膜板腔体本底真空度优于5×10-10 mbar，掩膜精度2微米。 | 897.000000 | 2022年12月 |
| 19 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 低温强磁场综合物性测试设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购低温强磁场综合物性测试设备1台，需满足温度：1.9K-400K，温控精确度：±1% （从零场到满场）温度扫描速率：0.01 - 8 K/min，温度稳定性：±0.2%（< 10 K）；±0.02% （> 10 K ），纵向磁体, 磁场强度：±14T ，场均匀性：0.1% over 5.5 cm×φ1cm柱形空间； 磁场稳定性：1 ppm/hr， 扫描速度：最高200Oe/sec.磁场分辨率： <0.3高斯（0<H<1.5T）；<3高斯（1.5T<H<14T），样品腔真空度10e-5Torr。 | 440.000000 | 2022年12月 |
| 20 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | HF/XeF2气相刻蚀设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购HF/XeF2气相刻蚀设备1台，需满足背景真空度1E-9Torr，刻蚀速率100A/min~1000A/min，两寸样品上刻蚀均匀性好于10%。 | 200.000000 | 2022年12月 |
| 21 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 脉冲激光沉积设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购脉冲激光沉积设备1台，需满足高压RHEED 工作气压30Pa以下；工作温度可达1000℃；可实现多靶沉积；样品台与靶间距可在60mm-100mm内调节；目的是制备高质量的化合物薄膜，包括氧化物，氮化物，以及其他介电化合物等，是探测器相关薄膜制备的必备设备，也是在强关联氧化物薄膜以及相关异质结制备的特色工具。 | 312.390000 | 2022年12月 |
| 22 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 原位扫描电子显微镜 | A02100399-其他光学仪器 | 拟采购原位扫描电子显微镜1台，环境扫描电镜可用于多种材料生长的表面过程实时监控，相比于传统超高真空扫描电镜，工作气压范围可以由超高真空到 0.8个大气压，工作温度范围可由室温至1500℃。环境扫描电镜能够在1200℃以下可实现表面敏感成像，在探测表面催化反应过程，二维晶体材料在金属催化剂表面的演化动态行为以及原位关联表面动态行为与材料热动力行为等研究领域必不可少。 | 280.000000 | 2022年12月 |
| 23 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 原位扫描电子显微镜-真空腔体 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购原位扫描电子显微镜-真空腔体1套，真空度要求5E-10 mbar。 | 180.000000 | 2022年12月 |
| 24 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱） | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备1台，UV至THz的宽波段一次性成谱。全新动态校准UltraScan干涉仪，无摩擦轴承，永久准直，分辨率0.2cm-1，可选好于0.06cm-1;波数精度优于0.005cm-1;高通量光源，灵敏度可达0.001分子单层；真空型，光路真空好于0.1mbar。 | 250.000000 | 2022年12月 |
| 25 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）-真空腔体 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）-真空腔体1台，真空度要求5E-10 mbar。 | 235.940000 | 2022年12月 |
| 26 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 多源有机蒸发镀膜设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购多源有机蒸发镀膜设备1台，需满足水氧指标：小于1ppm，泄露率：小于0.001%vol/h，恢复工作时间<2小时，控温精度±1度，极限真空度≤6*10^-5Pa，工作真空度6x10-4 Pa，膜厚探测精度± 0.1 nm。目的是用于金属以及p-型、n-型、p-型掺杂、n-型掺杂分子半导体薄膜的沉积制备。 | 315.000000 | 2022年12月 |
| 27 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 准原位光谱系统 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购准原位光谱系统1套，真空度要求为5x10-8 Pa，测试光谱范围为200~1700nm，样品至窗口距离≤15mm，满足显微光谱建设要求。基于真空互联实验站项目的技术定位和研究目标以及超高真空环境下原位无损光学技术表征的广泛需求，提出了超高真空环境下准原位光谱系统的研发与建设。规划建设的光谱测量系统，拟建成如下测试能力：变温光谱学能力、显微光谱测试能力、多光谱扫描成像能力和超高真空及气氛控制测试能力，故而对精密位移控制、温度控制、显微光学设计、真空设计等诸环节有着综合性的技术要求。 | 341.000000 | 2022年12月 |
| 28 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | MBE-原位生长动力学研究设备 | A032199-其他电工、电子专用生产设备 | 拟采购MBE-原位生长动力学研究设备1台，需满足生长腔真空度 <2x10-10 mbar; 生长温度 RT-1000C; 衬底尺寸此设备主要用于原位分析半导体外延制备过程中的各种动力学过程，尤其是晶格失配度较大时，薄膜外延应力，薄膜生长初期形核形以及原子扩散等机理。 | 600.000000 | 2022年12月 |
| 29 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 超高真空管道 | A02052401-真空获得设备 | 拟采购超高真空管道1套，需满足传输室极限真空度：≤2×10-10 Torr； 工作真空度：≤6×10-10 Torr。真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。小车在传输室内运行速度0~3 m/min可调，小车定位准确、重复性好、运行平稳。真空管道与传输系统把各功能设备相互连接，相当于在地球表面建立了一个太空环境，解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题，突破现有仪器设备的功能限制，实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应，为科研和战略性新兴产业发展提供先进的、开放性的平台。 | 450.000000 | 2022年12月 |
| 30 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 液氮 | A0999-其他办公消耗用品及类似物品 | 拟采购液氮，满足ULT-STM,4P-STM,O-MBE等设备日常实验所需。要求：纯度 99.999%并符合规范《GB/T 8979-2008》中要求；储槽边上安装液位远程监控；在低液位：液氮罐低液位1000mmH2O，高液位4200mmH2O。 | 480.000000 | 2022年06月 |
| 31 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 主园区废水处理设施绿色环保升级改造项目 | B0599-其他专业施工 | 升级现有酸碱废水处理设施，增加氨氮、磷、COD处理功能，废水处理量由150提升至200吨/天，符合环保法规的要求。 | 173.340000 | 2022年03月 |
| 32 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 主园区A、B、C科研楼电梯更换改造项目 | B060803-电梯安装 | 更新8部老化电梯，提高科研保障能力；替换安装完成后，质量合格，取得特种设备使用登记证 | 375.000000 | 2022年03月 |
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