《表面化学分析 XPS 选择仪器性能参数的表述》征求意见

摘要：近日，国家标准计划《表面化学分析 x射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述》编制完成并征求意见，时间截止到2023年3月8日。主要起草单位有厦门大学、厦门荷清教育咨询有限公司等。

　　【仪表网仪表标准】近日，国家标准计划《表面化学分析 x射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述》编制完成并征求意见，时间截止到2023年3月8日。主要起草单位有厦门大学、厦门荷清教育咨询有限公司等。

　　表面分析是新材料、新能源生科技术等战略性新兴产业的重要技术。XPS(X 射线光电子能谱仪)是表面分析的最核心仪器。其重要特征是能获得固体样品表面区域(≈1 nm 至 10 nm)的定性量分析。

　　世界上有多家厂商生产x射线光电子能谱仪。尽管每台仪器的XPS分析方法的基本原理是相同的，但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同。因此，通常很难比较不同厂商生产的仪器性能。

　　为使我国XPS和AES分析技术保持与国际接轨，国家标准与ISO同步，全国微束分析技术委员会表面分析分技术委员会于2018年提出将ISO 15470:2017转化为国家标准，并列入原国家标准委2021制修订国家标准计划，项目编号为20214940-T-469。

　　目前，我国本领域仅有GB/T28892-2012/ISO15470:2004 IDT《表面化学分析X射线光电子能谱仪选择仪器性能参数的表述》国家标准。本标准是等同采用国际标准ISO 15470:2017制定的相应国家标准，属于国际国内先进标准。

　　本标准与国际标准在技术内容方面完全相同，仅作下述编辑性修改:a、改变国际标准的封面，以符合本国标准的封面规定;

　　b、改变标准的编号与现有国家标准编号一致;

　　c、重新编排全文的页码;

　　d、重新编排目次中的页码;

　　e、删除国际标准中有关ISO的前言部分;f、增加有关标准编制说明的前言部分;

　　g、用小数点符号“.”代替作为小数点的符号“,”。

　　本文件详细表述了如何选择x射线光电子能谱仪的性能参数。其中包括选用的分析方法、样品制备、系统的构造、x射线源、空间分辨率、谱仪强度性能和能量分辨率、谱仪的能量标尺、响应函数、荷电中和、真空环境等;也给出本文件涉及的规范性引用文件、术语及定义、符号及缩略语等。

　　本文件提供了一个基本项目单，以使所有x射线光电子能谱仪能以共同的方式来表述。厂商的说明书可能长达30页或更多，本文件无意取代厂商的说明书，而是就厂商说明书中所确定的某些项目给出一致、明确的定义。

　　现有国家标准体系中GB/T28892-2012《表面化学分析X射线光电子能谱仪选择仪器性能参数的表述》国家标准是ISO15470:2004等同转化,本标准发布后，需废除该国家标准。

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