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微小流量气体流量计
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2026-06-08上海市
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产品简介
微小流量气体流量计主打极低量程、高精度、小体积，核心用热式质量流量计（MFM），覆盖 0.001~1Nm³/h（甚至 2sccm），无需温压补偿，适配洁净气体。
详细信息
微小流量气体流量计（热式为主） 多钦仪表（上海）有限公司选型推荐
微小流量气体流量计主打极低量程、高精度、小体积，核心用热式质量流量计（MFM），覆盖 0.001~1Nm³/h（甚至 2sccm），无需温压补偿，适配洁净气体。
一、主流类型与核心参数
1. 热式质量流量计
原理：热扩散 / 恒温差，测气体带走热量算质量流量。
量程：2sccm~50slm（标准升 / 分钟），可测0.01mL/min级。
精度：±0.5%~±1.5% FS，重复性 ±0.2%。
口径：DN6~DN15，接口 1/8"、1/4" 卡套 / 快插。
耐温：-20~+80℃；耐压：≤1MPa。
输出：4-20mA、RS485、脉冲；本地数显。
特点：直接质量流量、无温压补偿、无活动部件、响应快（≤1s）、低压损。
2. 微型科里奥利质量流量计（高精度）
量程：低至 0.1g/h，DN0.5~DN4。
精度：±0.1%~±0.2%，可测气体 / 液体。
特点：不受组分、温压影响；可测密度。
局限：价格高、压损大。
3. 层流差压流量计（组分可变）
原理：层流状态下差压与流量线性相关。
特点：适配组分变化混合气；耐压高（可达 10MPa）。
局限：需定期标定；对洁净度要求高。
4. 微型浮子流量计（低成本）
量程：10mL/min~10L/min。
精度：±2.5% FS，现场直读。
特点：结构简单、价格低；无需电源。
局限：需温压换算；精度低；不耐高压。
二、工况选型
实验室 / 高纯气 / 吹扫气 / 微量配比 → 热式（2sccm 起）。
高精度贸易 / 催化剂加注 / 稀有气体 → 微型科里奥利。
混合气 / 组分波动 / 高压 → 层流差压式。
低成本 / 现场直读 / 低压 → 微型浮子。
三、关键选型参数
流量范围：常用流量在满量程10%~90%；量程比≥1:50（热式可达 1:100）。
气体种类：纯气（N₂、O₂、Ar、CO₂）选热式；混合气选层流差压式。
材质：316L 不锈钢（常规）、哈氏合金（腐蚀）、PTFE 密封。
防爆：Ex ib IIC T4（氢气 / 甲烷等易爆气）。
安装：水平 / 垂直均可；前≥5DN、后≥3DN 直管段；避免振动。
四、安装与运维
必须洁净干燥，前端可装 2μm 过滤器。
避免脉动流（如泵后），必要加减压罐 / 缓冲器。
每年校准一次；零点漂移时现场清零。
长期不用时密封接口，防灰尘 / 湿气进入。
五、典型应用
实验室：气相色谱、气体分析、微量反应气配比。
半导体：晶圆吹扫、载气控制、高纯气输送。
化工：微反应器进料、催化剂微量添加、惰性气体保护。
医疗：氧气 / 麻醉气精准输送、呼吸机流量监测。
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