中级会员第 18 年生产厂家
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二氯硅烷钢瓶库号:M411854
二氯硅烷钢瓶(5L,带DCS阀门) 型号:KSC5L库号:M411854 查看hh
二氯硅烷钢瓶
型号:KSC5L
带DCS阀门,型号:NERIKI CGA636 DSP-21
材质316L,A. 内部电解抛光,Ra≤0.25um,容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗,真空置换,微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m,≤5pcs/L,>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7
D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189






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二氯硅烷钢瓶
型号:KSC5L
带DCS阀门,型号:NERIKI CGA636 DSP-21
材质316L,A. 内部电解抛光,Ra≤0.25um,容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗,真空置换,微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m,≤5pcs/L,>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7
D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189
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二氯硅烷钢瓶
型号:KSC5L
带DCS阀门,型号:NERIKI CGA636 DSP-21
材质316L,A. 内部电解抛光,Ra≤0.25um,容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗,真空置换,微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m,≤5pcs/L,>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7
D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189
二氯硅烷钢瓶库号:M411854