dektak xt 台阶仪 光学轮廓仪 华东总代理

第十代dektakxt台阶仪（探针式表面轮廓仪）
布鲁克 dektakxt 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供的重现性，重现性低于5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年dektak技术创新的，更加巩固了其行业地位。通过整合其行业产品，dektakxt实现了zui高性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代dektak台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（led）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

dektakxt
specifications规格
测量技术 探针轮廓技术
测量功能 二维表面轮廓测量
可选三维测量/
样品视景 可选放大倍率, 1 to 4mm fov
探针传感器 低惯量传感器 （lis 3）
探针压力 使用lis 3传感器：1 至 15mg
低作用力（选配） 使用n-lite+低作用力传感器：0.03至 15mg
探针选项 探针曲率半径可选范围： 50nm至25μm
高径比 （har）针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客户要求定制针尖
样品x/y载物台 手动 x-y 平移：100mm （4 英寸）
机动x-y 平移：150mm （6 英寸）
样品旋转台 手动，360°旋转;
机动：360°旋转;
计算机系统 64-bit 多核并行处理器, windows? 7.0; optional 23英寸平板显示器
软件 vision64操作及分析软件；
应力测量软件；悬臂偏转；
缝合软件；三维扫描成像软件
减震装置 减震装置可用
扫描长度范围 55mm （2英寸）
每次扫描数据点 zui多可达120,000数据点
zui大样品厚度 50mm （2英寸） zui大晶圆尺寸 200mm （8英寸）
台阶高度重现性 <5?, 1σ在1μm台阶上
垂直范围 1mm （0.039英寸）
垂直分辨率 zui大1? （ 6.55μm垂直范围下） 输入电压 100 – 240 vac, 50 – 60hz
温度范围 运行范围20 到 25°c （68到77°f）
湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝
系统尺寸及重量 455mm w x 550mm d x 370mm h （17.9in. w x 22.6in. d x 14.5in. h）; 34公斤（75磅）;
附件：550mm l x 585mm w x 445mm h （21.6in. l x 23in. w x 17.5in. h）; 21.7公斤（48磅）