一、产品简介

二、核心卖点

1. 超微量测量灵敏度

   可测 0.001L/min（sccm 级）微气流，解决传统仪表小流量漂移、检测盲区问题，微小泄漏、微量供气均可稳定捕捉。

2. MEMS 高精度传感

   ±0.5%~±1.0% FS 测量精度，重复性≤±0.2% FS，内置温度自补偿算法，抑制环境温差造成零点漂移。

3. 免温压补偿直测质量流量

   热式恒温差原理，直接输出标准质量流量，无需搭配温度、压力变送器，简化整套气路控制系统。

4. 直通式低阻无压损

   内部无节流、无阻挡结构，气流通过阻力极小，不会干扰原有微量气路压力平衡，适配低压微流量管线。

5. 多口径微型适配

   DN3/DN6/DN8/DN10 小口径全覆盖，卡套 / 标准内螺纹两种连接，适配毛细管、微型试验管路狭小安装空间。

6. 毫秒级快速响应

   T98 响应时间≤100ms，可实时追踪动态微量气流变化，适配气体配比、瞬态泄漏监测工况。

7. 多信号智能输出

   标配 4-20mA 模拟量、RS485 Modbus-RTU 数字通讯，可选脉冲流量累积输出，无缝对接 PLC、工控机、数据采集仪。

8. 防爆 / 工业双版本可选

   标准工业款 IP65 防护；可选本安防爆 Ex ia ⅡC T4，适配氢气、甲烷等易燃易爆微量气体测量。

三、完整技术参数

四、产品优势

1. 解决微流量测量痛点

   传统浮子、孔板流量计在低流速下存在测量盲区、精度差；本产品芯片灵敏度高，零点稳定，极小气流也能精准读数。

2. 系统集成成本更低

   无需配套温压补偿元件，单台仪表即可输出标准质量流量数据，减少管线配件、布线、编程工作量。

3. 体积小巧易集成

   整机尺寸紧凑，可嵌入实验设备、分析仪器、小型自动化设备内部，不占用实验台 / 机柜空间。

4. 长期低维护

   无叶轮、无弹簧等活动易损件，直通流道不易积灰堵塞，仅需每年一次简易吹扫校准，运维成本低。

5. 高纯气体适配

   316L 不锈钢流道无橡胶吸附层，不会污染特种高纯工艺气体，满足半导体、生化实验室洁净要求。

五、典型应用场景

1. 实验室科研

   微量气体配比、催化反应气路、微量气体标定、热重 / 质谱配套载气计量；

2. 半导体 & 光伏

   CVD/PVD 微量工艺保护气、特种硅烷 / 磷化氢微量供气监测、晶圆吹扫气计量；

3. 分析检测仪器

   气相色谱 GC、质谱仪微量载气控制、尾气微量成分流量采集；

4. 新能源氢能

   燃料电池微量氢气供给、氢燃料电池台架微量配气、氢气管路微泄漏监测；

5. 生物医药

   细胞发酵微量供氧、生物反应器 CO₂微量补充、医用制氧机微小流量监测；

6. 气密性检测

   电池壳体、精密零部件微小泄漏定量检测，判定微量漏气量；

7. 工业自动化

   设备氮气微量吹扫、微型气动保护气、小型产线微量工艺气在线监控。

六、安装与使用说明

1. 流向要求：按照阀体表面 “FLOW” 箭头安装，介质流向与标识保持一致；

2. 直管段要求：微小流量工况放宽，上游≥3DN、下游≥2DN 即可，无需长直管；

3. 介质预处理：气体必须干燥无油、无固体粉尘，上游加装 5μm 微型过滤器，保护 MEMS 传感芯片；

4. 电气接线：通讯信号线采用双屏蔽线缆，远离变频器、大功率电机，单独接地降低电磁干扰；

5. 零点校准：仪表支持一键自动空管零点校准，无需拆卸管路，长期使用定期校准保证精度。

七、售后保障

1. 整机质保 2 年，每台出厂均经过标准气体实流标定，附带校准证书、产品合格证；

2. 免费提供选型方案、气路布局指导、现场参数调试；

3. 支持非标量程、特殊介质标定、高压、高温、防爆、卫生级定制；

4. 终身提供流量校准、故障检修、软件参数修改技术服务。