方形夹盘

高低温晶圆夹盘系列

功能特点

可编程精密控温

超低的盘面温度梯度

独立的上盘面真空气槽，用于固定多种尺寸晶圆

尺寸超薄，可集成进探针台

支持顶杆孔

三轴（可选），用于防漏电

卡盘台面不接地

下盘面真空吸气槽（可选）

适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆

配件配置

高低温晶圆夹盘

任选1台

mK2000温度控制器有USB/IEEE等接口供选

√

制冷系统

液氮泵

详询上海恒商

液氮罐

容量2L/10L/30L

水泵冷却外壳防止过热，并可加速自然冷却

*注：”√”表示出厂配置中包含此项。详询sales@hsinstrument.com

技术参数

温度分辨率

0.001℃(at 100℃)

温度稳定性

±0.05℃(at 100℃)

温度均匀度

±0.1℃/cm可升级均匀性

zui小控温速度

±0.1℃/小时

传感器/控制算法

100Ω铂质RTD

PID控制可选线性直流电源

表面光滑度

10 µm(常温下)

*注：1、表中制冷数据为使用LN2-P4液氮泵时的表现，液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知。

2、性能可变通，详情请sales@hsinstrument.com

结构图–以150mm夹盘为例

型号规格

型号

盘面尺寸

适用样品尺寸

温度范围

zui大制热速度

HCC214S

100 mm

12 mm～101 mm

-120℃～200℃

+60℃/分钟(at 100℃)

HCC314S

-120℃～310℃

HCC216S

150 mm

12 mm～152 mm

-100℃～200℃

+50℃ /分钟(at 100℃)

HCC316S

-100℃～310℃

HCC218S

200 mm

40 mm～203 mm

-80℃～200℃

+35℃/分钟(at 100℃)

HCC318S

-80℃～310℃

*注：1、表中制冷数据为使用LN2-P4液氮泵时的表现，液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知。

    2、夹盘上下表面的独立真空吸气槽(可选);支持Swagelok接口(可选);支持顶杆孔(可选);制冷需液氮

3、性能可变通，详情请sales@hsinstrument.com