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压阻式绝压变送器
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2018-05-15西安市
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产品简介
该产品是基本于 MEMS工艺技术,采用硅―派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔 ,经过一系列无应力封装及高精度补偿技术,从而使该产品,以稳定性优良、精度高等突出优点面向市场,适用于各种工装下压力测量与控制。
详细信息
该产品是基本于 MEMS工艺技术,采用硅―派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔 ,经过一系列无应力封装及高精度补偿技术,从而使该产品,以稳定性优良、精度高等突出优点面向市场,适用于各种工装下压力测量与控制。1、产品特点：
（1）不锈钢结构；
（2）MEMS 工艺技术制作敏感元件，采用真空充硅油隔离，不锈钢波纹膜片过渡传递压力；
（3）具有优良的介质兼容性；
（4）适用于对316L 不锈钢*的气体、液体的压力测量；
2、量程：0～50KPa……200MPa
3、供电方式：15～24VDC；
4、输出信号：4～20mA 或0～5V（特殊要求可订制）；
5、过载压力：≧150%FS；
6、介质温度：－20～80℃；
7、补偿温度： 0～60℃；
8、贮存温度范围：－40～100℃；
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