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SSDR150 微波等离子CVD系统（MPCVD system）
具体成交价以合同协议为准
2018-05-15国外
- 型号
- SSDR150
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产品简介
生长大面积光学窗口（红外窗口、激光输出窗口）、探测窗口、微波窗口等
品特点概述
适用范围：生长大面积金刚石薄膜(4-10英寸，甚至更大)
生长速度：可高达几?m-几十?m/h，甚至更高；
生长范围：可在直径100mm范围内生长、或者在直径300mm范围内生长。
详细信息
品特点概述
适用范围：生长大面积金刚石薄膜(4-10英寸，甚至更大)
生长速度：可高达几?m-几十?m/h，甚至更高；
生长范围：可在直径100mm范围内生长、或者在直径300mm范围内生长。
研究及小规模生产型：
微波功率：2.45GHz，6KW, 脉冲模式可选 （提高沉积速度和质量）；
样品台：直径75-100mm,旋转衬底可选（提高大面积均匀性）;
真空系统：oil pump/dry pump，TMP可选（营造高真空基准）；
控制方式：半自动或全自动（操作灵活）；
生长速率：高达30μm/h.
整体特点：专门生长大面积热沉级、光学级多晶薄膜配置，适合于研发、小规模生产。
大面积光学级金刚石厚膜生产研究型：
微波功率：915MHz，30KW；
水冷衬底：直径250mm或更大; 衬底加热和衬底旋转可选.
4个4英寸衬底, 加热和旋转衬底可选
真空系统：oil pump / dry pump+TMP（营造高真空基准）；
控制系统：全自动控制（适合大批量生产）；
生长速率：高达30μm/h, 或更高速率
整体特点：专门大面积金刚石薄膜研究及生产配置；可获得4-10英寸光学级金刚石厚膜，也可以用于研究合成曲面自支撑金刚石厚膜，请详细咨询！
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