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K1050X 射频等离子处理仪(等离子刻蚀\清洁\灰化)

具体成交价以合同协议为准

2018-05-15
型号
K1050X
南京覃思科技有限公司

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产品简介
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。抽屉式抽拉系统,固态射频等离子处理系统,应用于SEM/TEM中材料表面刻蚀、微观灰化、表面改性处理以及清洁处理。
详细信息
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时,可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀。
 
应用:

石棉试样制备
有机材料微观灰化
SEM&TEM中有机样品刻蚀
去除光刻胶及电子元件中的包胶
塑料品的表面处理
SEM/TEM中的样品夹清洗
 
 
特点:

固态射频发生器及调谐电路
全自动控制
抽屉式结构
两种处理气体
紧凑的台式系统

优点:

低温灰化过程
易操作
装/卸样品方便
可选择不同的混合气体
节省空间
注:我们建议使用No. 2泵,
       它具有“的油”。

技术规格

仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H        重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸盐玻璃作为标准配置)
拉出式抽屉:样品托盘为抽拉式
等离子输出:射频电源-固态150瓦射频峰值,通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(备注:所使用的频率为标准组织CISPR认可的“工业”频率)
真空测量范围:完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
数字计时单元:99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。
双气体流控制:双气体针阀控制,可选1或2或两种气体(校准5到 100cm3/分 空气 @ A.T.P.)
电源:230V 50Hz (包括泵zui大电流5 Amp);115V 60Hz(包括泵zui大电流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr
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