韩国*数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。

应用：

LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

优势：

测量质量流量       不需要温度、压力补偿   紧凑的流量控制系统 

精度（±0.2%F.S）   耐高压（15公斤）      快速响应时间（＜1秒）

高重复性（±0.25%F.S）     数字通信：RS-485

规格：

尺寸：