YX-5型普通\双晶高精度定向仪用途：
此仪器是根据客户需求，在YX-4高精度定向仪的基础上改进的，采用YX-2D6的结构，解决了测常规晶体角度测量和对晶体角度要求严格的情况下使用，达到一台仪器二个不同型号仪器的作用，提高了利用率，性价比高。特别适应科研所、学校、企业使用。
  YX-5型普通\双晶高精度定向仪特点：
 1、左测角仪采用单反射、定向精度±30″。
2、右测角仪采用前置单色器双反射、定向精度±15″。

 YX-5型普通\双晶高精度定向仪主要参数：

YX-5A高精度晶体定向仪（通用型；适用晶圆片、晶棒）
 
YX-5A高精度蓝宝石晶体定向仪：是在YX-2D6A定向仪基础上升级产品，配置单色器,数字显示为6位，zui小读数1″，精度±15″针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,操作方便，显示器为外置式,样品台加装承重轨道，属于通用*机型。
 
标准配置如下：GA, GB测角仪
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
2、另一侧GB专为晶棒设计，设计为宽130，长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托，能测Φ2---Φ6英寸晶圆片；能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒；如：硅（111）（100）蓝宝石C面等角度；*个测2---3英寸端面，第二个测4---6英寸端面。
 
主要参数：