硅片检测显微镜

一、仪器用途 　TGB-600 大平台明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、无限远长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头。本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔”的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器。　　硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析。杂质包括:颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格。是太阳能电池硅片生产过程中*的检测仪器之一。二.目镜类型 放大倍数 视场（mm） 大视野目镜 10X Φ22 2.物镜类别 放大倍数 数值孔径（NA） 工作距离（mm） 明暗场无穷远长距平场消色差物镜 5X 0.12 9.7 10X 0.25 9.3 20X 0.40 7.3 50X 0.70 2.5 80X 0.80 1.25 3.光学放大倍数：50X 100X 200X 500X 800X 4.三目镜30°倾斜，双目瞳距调节范围：53~75mm 5.五孔转换器 6.调焦机构：粗微动同轴调焦, 微动格值：0.8μm, 　粗动松紧可调,带锁紧和限位装置 7.载物台机械式尺寸：280mmX270mm；移动范围横向（X） 204mm，纵向（Y） 204mm 8.偏光装置起偏振器，可360度旋转，可推拉切换 ；检偏振器，可推拉切换 9.照明系统12V 50W卤素灯，亮度可调 10.防霉:*的防霉系统 11.成像系统:高像素的CCD摄像头三、系统组成 （TGB-600）：1.硅片显微微 2.适配镜 3.CCD摄像器 4.A/D图像采集卡四、总放大参考倍数 TGB-600：50--3800倍 五、选购件 1.图像测量软件　　2.目镜： 10X（带刻度）　　3.物镜：40X 60X
 

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