中级会员第 15 年代理商
参考价：
-
- 面议
EXT406PX EDWARDS复合涡轮分子泵
具体成交价以合同协议为准
2024-05-16深圳市
- 型号
- EXT406PX
产品简介
BOC Edwards EXT泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
详细信息
BOC Edwards EXT406PX泵
性能特点
真空系统简单
* 可以选用较小的前级泵。
* 降低真空系统体积与功耗。
* 前级压力在8mbar就可启动，入口负载可达2E-3 。
* 前级压力在8mbar就可启动，入口负载可达2E-3 。
* 前级压力为17mbar时，还可维持正常转速。
非常适合于与隔膜泵联用，特别适用于抽H2。
兼容24v DC Edwards TIC涡轮控制器或涡轮仪表控制器。
* 也可使用用户自己的24V DC电源。
技术数据
入口法兰 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF | ||
压缩比 |
| |
| N2 | >1 x 10E11 |
| He | 1 x 10E6 |
出口法兰（前级泵口） | DN25NW | |
前级泵（推荐） | XDS10或RV12（或其它更小的，依应用而定） | |
放气口 | 1/8 inch BSP | |
吹扫净化口 | 1/8 inch BSP | |
zui高入口压力（空气） * | ||
水冷（水温15°C，大气温度40°C） | 0.008mbar | |
空冷（大气温度35°C） | 0.012mbar | |
额定转速 | 60000 rpm | |
转速达到90%所需时间 ** | 285 s | |
冷却方式 | 空冷/水冷 | |
大气温度（空冷） | 5-35 °C | |
冷却水zui低流速（水温15 °C） | 15 l/h | |
水温范围 | 10-20 °C | |
入口法兰zui高温度 | 100 °C | |
工作姿态 | 垂直 | |
噪音（1m处） | <45 dB（A） | |
zui大磁场 | 5 mT | |
静止功耗 | 25～40 W | |
EXT406PX涡轮分子泵安装尺寸
A EXDC控制器
B 前级泵口
C 罗茨泵口
D 吹扫净化口
E 放气口
F 接地
EXT406PX涡轮分子泵特性曲线
订货信息
描述 | 货号 |
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100ISO入口法兰 | B760-31-991 |
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100CF入口法兰 | B760-32-991 |
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160ISO入口法兰 | B760-41-991 |
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160CF入口法兰 | B760-42-991 |
EXDC160 24 V | D396-46-000 |
相关技术文章
