EC-80P 日本NAPSON 便携式非接触电阻率测试仪

日本NAPSON 便携式非接触电阻率测试仪

基础核心参数

1. 工作原理：交变磁场在导电样品内部感应涡流，拾取涡流反馈信号运算换算方块电阻与电阻率；设备存储测量方案，导出记录用于新材料工艺复盘。

2. 型号：EC-80P（便携式涡流非接触电阻测量装置）

3. 测量方式：非接触涡流感应，无物理探针接触试样

4. 运行模式：晶圆电阻率、体电阻率、方块电阻三种模式切换

5. 触发方式：探头贴合样品自动启动测量

6. 探头配置：主机可同时连接两支测量探头，五档量程探头可选配互换

7. 样品条件：样品表面保持平整，不受整体尺寸与外形限制

8. 操控方式：JOG 旋转旋钮快速设置膜厚、补偿等测试条件

9. 机体构造：台式一体化机身搭配手提支架，便于移动转运

10. 使用环境：恒温实验室区间，湿度无凝露，半导体、光伏、显示材料研发与产线质检工位

日本NAPSON 便携式非接触电阻率测试仪

核心功能特点

1. 非接触测量，杜绝传统四探针扎针造成的样品表面破坏，同一片样品可多点反复取样评估均匀性。

2. 分离式手持探头设计，可灵活移动定位，大板、卷材、异形工件边缘区域均可定点抽检。

3. 自动感应触发测量，探头轻贴样品立即读数，简化操作流程，适合大批量来料快速筛查。

4. 模块化多量程探头体系，区分低阻、中阻、高阻、超高阻、光伏硅片专用探头，不同导电材料均可保障测量精度。

5. 三种测量模式自由切换，兼顾块状半导体基体与薄层导电薄膜两类试样检测需求。

6. 旋转旋钮简易操控，可录入样品厚度参数，支持方块电阻与电阻率互相换算。

7. 整机轻便易搬运，既可放置实验台开展研发测试，也可直接运至产线、仓库执行来料巡检。

8. 适配丰富材料品类，硅晶圆、SiC、GaN 外延片、ITO 膜、碳基导电材料、金属薄膜均可测试。

9. 无耗材消耗，日常仅需保持探头端面洁净，长期运维成本更低。

10. 完整新材料质控台账留存，电阻测点记录可回溯，薄膜沉积工艺优化、晶圆来料检验、成品一致性验收项目可直接调取管控记录。

适用场景

1. 半导体行业：单 / 多晶硅片、离子注入硅片、GaAs、GaN、SiC 各类外延晶片电阻率检测。

2. 光伏新能源工位：光伏硅基基材导电特性筛查，评估掺杂工艺均匀性。

3. 显示光学领域：ITO、TCO 透明导电玻璃薄层电阻检测。

4. 新材料研发：石墨烯、碳纳米管、银纳米线复合导电薄膜电学性能表征。

5. 第三方材料检测机构：各类导电薄膜、半导体样品无损电学委托测试。

6. 高校科研平台：二维材料、导电高分子、宽禁带半导体课题样品理化表征。

7. 半导体实验室与新材料产线质检班组，配套无损便携式薄层电阻检测设备。