KANSAI关西电热脱臭装置HJ-15

KANSAI关西电热脱臭装置HJ-15

KANSAI关西电热脱臭装置HJ-15

白金触媒酸化式脱臭装置HJ-15，CVD装置用干式排气处理装置JC-100AF，JC-300AF-S，JC-450AF-S

产品介绍

白金触媒酸化式脱臭装置

这是将白金触媒应用于电气式热风发生器的装置。

可以低价进行脱臭。

连续使用最高温度350℃

加热器容量8.5千瓦

高效蜂窝状块体加热器配备

风量调节用逆变器搭载（20～60Hz可变）节能！

热风循环用耐热风机搭载230℃以下

送风机电动机容量130W・250W

全机种入出力服务端子付

各种安全回路内藏（各种安全装置采用高可靠性的热电偶）

远距离操作盘・方向变更・异电电压等にも対応可能

泰国时间以1分钟为单位，可设置1分钟至99小时59分钟

CVD装置用干式排气处理装置

CVD装置排出的SiO2粉末等的反应生成物捕捉的过滤单元和SiH4、TEOS等有毒气体的触媒单元，将有毒气体去除至TLV值以下。

连续操作规格（可在CVD装置不停止的情况下进行维护）

新型穿孔方式的自动再生机构过滤单元

一键连接的模块化各单元

标准配备旁路管道、瞬间停电再启动单元、联锁回路

新型旋转阀搭载（各单元切换时CVD装置排气压力的稳定化）

非常低廉的运行成本

也能轻松应对大风量型处理CVD装置

干式排气处理装置的好处

有毒气体通过催化剂单元进行吸附处理，因此与其它方式（燃烧式、热分解式）不同，装置内不会产生NOx、CO2等，可以将排放气体直接释放到大气中。

SiO2等的反应生成物在过滤单元中被捕获，因此在装置后段不会发生管道清理等的二次维护。

该实用工具仅需商用电源（无需LPG、用水等），因此可以减少运行成本并确保安全性。

与排气处理装置相比，通过延长过滤器和催化剂单元的使用寿命，并降低元件本身的价格，实现了干式排气处理装置的运行成本降低。

处理对象气体

SiH4、PH3、B2H6、AsH3、HCｌ、NH3、TEOS、O3、TMOP、TEB　等

处理对象粉末

SiO2粉末等粒径0.3μm以上的粉末