HUS-3 日本本多电子HONDA 便携式超声波音压监测仪

基础核心参数

1. 测量原理：压电传感探头拾取槽内超声波振动，转换为 mV 有效值相对电压，反映声场能量强弱；设备存储量程档位、零点补偿、峰值声压完整时序数据，导出报表用于晶圆、光学零件超声清洗工艺复盘。

2. 频率响应范围：10kHz～5MHz，覆盖工业低频清洗、38kHz/40kHz 通用清洗、1MHz/3MHz 兆声晶圆清洗全场景

3. 测量量程（四档手动切换）

   10mV、50mV、100mV、500mV

4. 响应速度：毫秒级瞬时采样，流水线移动工件可捕捉短时峰值声场

5. 主机硬件规格

• 外形尺寸：179×132×55mm（不含凸起）

• 整机重量：640g（内置锂电池 HBT-001）

• 功耗：DC14.8V 1.5W，电池容量 1300mAh

• 续航：满电连续使用约 10 小时

6. 供电配置

• 内置锂电：HBT-001 专用锂电池

• 充电适配器：BT-024 专用 DC 充电器，Type-C 充电接口

7. 可选配套探头（线缆统一 1.5m）

• HUS-5 SPS：石英玻璃直型 340mm，适用常规中性清洗液，禁热强碱

• HUS-5 SPL：石英玻璃 L 型 260mm，槽底、拐角定点检测

• HUS-5 SUS：SUS316 不锈钢直型，耐弱酸碱清洗液

• HUS-5 SUL：SUS316 不锈钢 L 型，辊筒、夹层狭小空间

8. 探头耐受液体温度：0～70℃

9. 使用环境：环境温度 5～40℃，湿度≤75% 无凝水，无尘车间、清洗产线工位

10. 使用限制：不可长期持续固定放置槽内（易故障）；仅做相对对比，不可用于法定计量校准

日本本多电子HONDA 便携式超声波音压监测仪

核心功能特点

1. 10kHz~5MHz 超宽频兼容，单台设备兼顾工业低频清洗、半导体兆声波高频清洗，无需分设备采购，降低设备投入。

2. 双材质可替换探头，石英探头适合中性精密清洗；不锈钢探头耐受弱酸碱蚀刻槽，适配 PCB、晶圆多道清洗工序。

3. 直型 / L 型自由切换，L 型弯头可伸入槽底、辊道缝隙、密闭腔体，无需倾斜槽体即可完成多点声场均匀度检测。

4. 四档 mV 量程分级切换，弱声场小档位精准读数，强超声槽大档位防止表头溢出，大小清洗机通用。

5. 内置零点归零调节，消除探头、线缆带来基线偏移，同批次平行点位测量重复性优异，便于长期跟踪振子衰减。

6. 充电锂电池便携设计，车间多槽巡回、外勤设备验收无需外接电源，整机轻量化单人手持携带。

7. 毫秒级高速响应，流水线高速输送工件瞬时超声能量也可精准捕捉，无读数丢失、滞后问题。

8. 指针模拟表头直观观测，类似传统仪表操作习惯，新手快速上手，现场可直观观察声场波动变化。

9. 分体长线灵活布置，探头入水、主机放置槽外干燥区域，避免清洗液飞溅腐蚀主机电路，延长设备使用寿命。

10. 完整超声清洗台账留存，峰值相对声压、探头类型、检测点位原始数据可回溯，半导体、光学产线设备出厂审厂可直接调取声场管控记录。

适用场景

1. 半导体晶圆行业：兆声波晶圆清洗、芯片封装前超声脱脂槽声场巡检，判定振子老化避免清洗不良。

2. 光学器件工位：镜头、导光板、薄膜光学零件超声脱脂，管控声场均匀度防止划痕、清洗残留。

3. PCB 线路板领域：显影、脱膜、中和超声清洗槽强度点检，稳定板面洁净度。

4. 五金精密加工：轴承、冲压件、紧固件油污超声清洗槽定期声场排查。

5. 实验室新材料：超声树脂分散、粉体脱泡试样声场对比测试。

6. 高校材料、半导体实训实验室，超声清洗槽声场强度对比教学配套测量设备。