半导体蚀刻蒸汽发生器

半导体蚀刻蒸汽发生器器通过精密计量泵控制进液量，经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。它的应用范围较广泛，主要为实验室产生流量可调、温度可控的水蒸气，也可作为液体的相变发生器。

亿科纯水蒸气发生器可支持客户各种进出口接口形式的定制；可支持远程控制；可支持实时在线数据的读取与保存；设备体积小，轻便，只有传统蒸气发生器体积的十分之一；设备寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换。

技术优势：

• 采用特殊算法
  

精确控制汽化进口的水流量和汽化过程中功率、液位、压力、温度等 最终达到对出口蒸汽的调节。精密控制精度，蒸发量大范围精准可调。

• 采用特殊汽化结构
  

大幅抑制汽化不均匀而产生的脉动汽化过程稳定，成份均匀

• 模块化设计

结构简洁，接口和安装形式均可按应用快速定制，可集成，温度/湿度/压力可按需定制

• 高效且瞬间汽化

比传统汽化效率更高 更快

产品特点：

快速启动 数秒内可以完成启动

设备体积小，轻便，只有传统蒸气发生器体积的十分之一

精度确度高，可达±1%

出口温度调节范围广，范围从100至1000℃

汽化通道无死体积

换热效率高，热损失小

出气稳定，不冷凝

进液流量 温度等参数可设置

运行状态直观显示

可支持实时在线数据的读取与保存

可集联与远程

可按需求定制

设备寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换