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FS-3000热式气体分流器

具体成交价以合同协议为准

2026-07-11上海市
型号
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产品简介
FS-3000热式气体分流器
详细信息

控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制,同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外,即使分流比改变,控制算法也能实现对分流的高速响应。

  • 提高可扩展性、维护性能。FS-3000 可通过高速信号处理分离多达 15 个通道。若 MFC 出现故障,仅需更换故障从机即可。
  • 灵活响应所需规格 FS-3000 支持混合气体在内的多种气体。此外,FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 等用户接口。
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