晶圆制造美国GE Panametrics MISP2露点仪

晶圆制造美国GE Panametrics MISP2露点仪

应用适用于以下行业：

• 石油化工

• 天然气

• 工业用气

• 半导体

• 炉膛气体/热处理

• 发电

• 空气干燥器

• 制药的

• 航空航天

晶圆制造美国GE Panametrics MISP2露点仪

主要技术参数：

显示参数：

露点（TP）、温度（℃）、压力（psig）

露点量程：

-110°至60°C（-166°至140°F）

可选量程：

• 标准：-80°至20°C（-112°至68°F），数据为-110°C

（-166°F）

• 超低：-110°至-50°C（-166°至-58°F）

• 高量程数据：-80°至60°C（-112°至140°F）25°C

（77°F）处的校准准确度

• ±3.6°F（±2°C）高于-148°F（-100°C）

• ±5.4°F（±3°C） 低于 -148°F（-100°C）

重复性：

• ±0.4°F（±0.2°C）高于-148°F（-100°C）

• ±0.9°F（±0.5°C） 低于 -148°F（-100°C）

温度：

• 工作温度：-4°F至+140°F（-20°C至+60°C）

• 储存温度：-22°F至+158°F（-30°C至+70°C）操作压力5 µm高压：5000 psig（345 bar）

可选压力传感器有限-请参见压力传感器范围。

流量范围：

• 气体：在1 atm下静止至10,000 cm/s线速度

• 液体：在密度为1 g/cc时，线速度为静止状态至10 cm/s

温度量程：

-22°至158°F（-30°至70°C）

精度：

±0.9°F（±0.5°C）总体

压力量程：

• 30至300 psig（3至21 bar）

• 50至500 psig（4至35 bar）

• 100至1000 psig（7至69 bar）

• 300至3000 psig（21至207 bar）

• 500至5000 psig（35至345 bar）

精度：

±满量程的1%

压力等级：

可用范围跨度的三倍，值为7500 psig（518

bar）

MIS探头／分析仪分离：

推荐长度为3000英尺(0.9公里）