用于测量清洁气体，小型紧凑设计。
用于各种腐蚀性流体的流量监视。
- 支持气体
- 支持附带警报接点
- 小型紧凑设计
标准规格
| 流体名称 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（实际气体校准） 其他气体在转换后进行校准，实际气体校准请另行咨询 |
|---|---|
| 流量范围 | 1,2,3,5,10,20L/MIN |
| 精度 | FS±5％ |
| 供应压力 | 0.2MPa以下 |
| 耐压 | 0.5MPa |
| 流体接触材料 | （P）氟树脂、硬质玻璃、氟橡胶 |
| 有效刻度 | 10：1 |
| 连接 | Rc1/4 |
| 使用环境温度 | 0~40℃（不会结露） |
光传感器规格
| 连接方法 E（光传感器） | NPN开放收集器 | |
|---|---|---|
| 警报设定范围 | 20~90％FS共通 | |
| 接点容量 | E-投光15mA、受光22mA、NPN开放电流80mA（MAX）、灯ON | |
※流量显示为Air转换（大气压）20℃
尺寸图
