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Gasboard-3052 光刻腔氧分析仪
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2026-07-15武汉市
- 型号
- Gasboard-3052
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产品简介
光刻腔氧分析仪Gasboard-3052基于极限电流型氧化锆传感器技术，实现工业过程中ppm级别氧浓度的测量，具有测量精度高、响应速度快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂工况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验。
详细信息
光刻腔氧分析仪产品概述
光刻腔氧分析仪Gasboard-3052基于极限电流型氧化锆传感器技术，实现工业过程中ppm级别氧浓度的测量，具有测量精度高、响应速度快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂工况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验。
技术参数
| 测量原理 | 极限电流型氧化锆法 |
| 量程范围 | 0~10ppm；0~100ppm；0~1000ppm；自动切换 |
| 测量精度 | ≤±2%F.S. |
| 分辨率 | 0.1ppm |
| 响应时间 | T90≤10s |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 相对湿度 | 0~95%RH |
| 模拟电流输出 | 4~20mA |
| 模拟电压输出 | 0~1，0~5，0~10 V DC |
| 报警输出 | 2路报警，1路故障报警 |
| 通讯接口 | RS-232，RS-485 |
| 电源 | 12V DC/220V AC，50Hz |
| 产品尺寸(mm) | 仪表(L*W*H)：178*107*95；传感器(D*L)：38.1*71.5 |
产品特性
测量精度高，ppm级别测量
响应速度快，秒级出数
产品稳定性好，无需定期校准
紧凑型模块化设计，体积小，安装方便
人机交互强，显示内容丰富、直观，操作方便
抗干扰能力强，对其他气体的交叉敏感性低
报警功能：当氧气浓度偏离报警值时将发出报警，报警值可调
应用领域
①半导体、LED等生产过程中氧浓度控制。
②惰性保护气体生产及焊接工艺中氧浓度监测。
③空气分离加工工艺中氧浓度测定。
④真空手套箱系统中氧含量的监控。
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