原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

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THYRACONT公司介绍‌

Thyracont是一家高科技企业，专注于真空测量与控制技术的自主研发与精密制造。公司以“德国制造”为根基，坚持从传感器、电子电路到固件的全链条自主开发，确保每一件产品在精度、稳定性与长期可靠性上达到行业顶尖水平。

Thyracont开发的微型Pirani螺旋丝传感器、多原理组合测量技术，已成为全球真空行业广泛采纳的标准。产品线覆盖从粗真空到超高真空的全量程需求，包括便携式VD8系列真空计、支持EtherCAT与PROFINET协议的Smartline智能变送器、高耐腐蚀真空开关及多通道控制器，广泛服务于半导体晶圆加工、制药冻干工艺、光学镀膜与科研实验等严苛场景。

Thyracont的产品不仅追求测量精度，更注重系统集成与智能化。VD8系列内置2000组数据记录功能，配合VACUGRAPH®分析软件，可实现泄漏率计算与泵送曲线可视化，为质量审计提供可追溯的数据支撑；Smartline系列则通过工业以太网协议无缝对接PLC与云平台，实现远程监控与智能诊断，契合工业4.0的演进方向。传感器采用Viton®或Kalrez®密封材料，耐受强腐蚀性介质，适用于化工与无菌环境。原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

德国THYRACONT主要产品有：

THYRACONT真空计、

THYRACONT数字式紧凑型真空计、

THYRACONT数字真空传感器、

THYRACONT模拟真空传感器、

THYRACONT电子真空开关、

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THYRACONT产品介绍：

THYRACONT真空控制器VD12

VD12是一种智能控制单元，适用于仪器和设备工程或特种设备制造。19 英寸盒式磁带 14 HP x 3 RE。

性能特点

同时控制 2 个测量通道

可与所有 Smartline 和 0-10 V Analogline 传感器结合使用

2个可编程无电位继电器开关

技术参数

显示：LCD图形显示，背景照明，51x31 mm，分辨率128x64

显示：刷新率 2 Hz (0.5 s)

扫描速率：RS485: 12,5 Hz (80 ms)

0-10V：50赫兹（20毫秒）

电源：95 - 265 VAC, 50/60 Hz

功耗：max 25 W，包括传感器

工作温度 +5...+50°C

储存温度 -20...+60°C

串行接口 Mini-USB 插座，B 型，5 针（虚拟 Com 端口）

RS232：3.5 毫米插孔，3 极

防护等级 IP20

重量：约 750 克

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THYRACONT真空开关VRC

产品介绍

VRC电子真空开关可用于在粗真空范围内直接切换泵或阀门。额外的记录器输出允许连续监测过程压力。

性能特点

耐化学腐蚀的陶瓷传感器，带 FKM 密封，可根据要求提供 FFKM 密封

无电位继电器切换点（切换继电器）

高可靠性

通过 KF 小法兰或 G1/4 内螺纹连接真空源

拆下顶部后，开关点可通过电位计在整个范围内准确调节

真空兼容连接

坚固的金属外壳，防护等级为 IP54

技术参数

测量原理：压阻式，与气体类型无关

测量范围：1200 - 1 mbar (1050 - 4 Torr)，max过压：4 bar absolute

设定点范围：10 - 1200 毫巴

精度：+-0.3%满量程

设定时间：20 ms

电源：18 - 30 VDC

电气连接：凤凰螺丝端子

功耗：不带继电器50毫安，带继电器70毫安

工作温度：0...+40°C

储存温度：-10...+60°C

记录仪输出：实际值 0 - 12 V (10 mV/mbar), max. 5毫安

真空连接：不锈钢小法兰DN 16 ISO-KF，G1/4内螺纹

防护等级：IP54

重量：约450 克

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THYRACONT真空计VD81

产品介绍

VD81真空计带有集成数据记录器的紧凑型数字真空计可记录您的过程值。

性能特点

多达 2000 个测量值的数据记录器

使用电源或电池操作

USB接口用于数据传输

连续运行或自动关闭

所有 VD8 紧凑型真空计均配备集成数据记录器，并在整个测量过程中独立于 PC 保存压力值。原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

准确的结果

max的灵活性

技术参数

测量原理：压阻式，与气体类型无关

测量范围：1600 - 1 mbar (1200 - 1 Torr)

max过载：4 bar abs.

准确度：0.3% f. s。

分辨率：1 mbar

测量速率：1.0 s（如果相应地设置记录速率，则为 0.1 s）

记录速率：0.1 s, 1 … 6000 s

与真空的材料。 触点：不锈钢1.4305、Al₂O₃陶瓷、FKM

工作温度：+5...+50 °C

储存温度：-20...+60 °C

电源：9 V电池或12…15 VDC外接

功耗：约 2 mW（时钟）

工作时间：

锂电池：<5000 h，6LR61碱性电池：<2500 h

镍镉充电电池 150mAh：<500 h

串口：Mini-USB, Type B, 5pin, female, Virtual Com Port protocol

电气连接：Mini-jack 2.5 mm 用于插入式电源

真空连接：小法兰DN 16 ISO KF，G1/4母头或软管喷嘴（附件VD81SW1）

显示：LCD 12 mm

防护等级：IP40

重量：约200 克（含电池）

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THYRACONT真空传感器VSH

产品介绍

VSH系列数字组合真空传感器测量从大气压到高真空的绝对压力。

性能特点

宽测量范围：宽范围组合传感器 Pirani / Bayard Alpert

准确：良好的准确性和可重复性

抗吹性：Bayard Alpert 具有抗吹性，钇涂层双丝

坚固：长期测试证实了良好的使用寿命：高达 100,000 次冲击排气周期

长寿命：在较低压力下开启热阴极可提高耐用性。原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

智能

技术参数

测量原理：热传导皮拉尼/热阴极 Bayard Alpert, dep.关于气体类型

测量范围：1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr)

max过载：4 bar

精度：1000 - 10 mbar: Approx. 30 % f. r., 10 - 1e-8 mbar: Approx. 10 % f. r.

重复性：10 - 1e-2 mbar: 2 %, 1e-2 - 1e-8 mbar: 5%

发射电流：9 µA、100 µA、1.0 mA、2.0 mA

脱气方式：阳极欧姆加热

反应时间：50 ms（发射电流切换<2s）

工作温度：+5...+60°C (Profinet +5...+50°C)

储存温度：-40...+65°C

烘烤温度：max法兰处 180°C（电源关闭）

供电电压：20 - 30 VDC

输出信号：0 - 10 VDC, min. 10 k，测量范围 1.219 - 8.6 VDC，log.EtherCAT、Profinet 除外

数字接口：RS485: 9,6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity EtherCAT, Profinet

开关点：2x 继电器，无电位，49 VAC / 2 A，30 VDC / 2 A，max 60 VA，除了 EtherCAT、Profinet

真空连接：DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)

防护等级：高达IP54（SubD带XB15SL05适配器）

重量：约 475克 (VSH88)

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VD800 – 数字真空计

VD800紧凑型真空计

真空计VD800系列概述：

大图形显示

直观的菜单驱动操作

直接在设备上以图形方式显示压力曲线

集成数据记录器，用于存储带有实时时间戳的多个测量系列

存储测量过程中达到的低和高压力

自动关机或连续运行

达到可调节阈值时发出视觉和声音警报

通过标准 USB-C 电缆为电池充电

通过 USB-C 或通过蓝牙® LE（可选）无线方式将数据快速轻松地传输到 PC、平板电脑和智能手机。原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

可选压力单位：mbar、Torr、hPa

不同的菜单语言

存储速率可调，范围为 20 毫秒至 60 秒，可实现快速处理

VacuGraph TM软件：读取数据记录器、可视化、分析和存储测量数据

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Smartline – 数字真空变送器

VSR 真空变送器 、压电/皮拉尼 、1200 至 1e-4 mbar 、数字

在数字真空变送器 VSR 中，压电传感器和皮拉尼传感器的组合确保了粗真空和精细真空范围内的高精度和出色的分辨率。

Smartline 真空变送器概述：

多种接口可供选择：数字 RS485 接口加 0-10 V 输出信号、EtherCAT 或 PROFINET。 SLBBT蓝牙适配器还可以实现无线通信

工业 4.0：所有 Smartline 变送器都提供一系列用于预防性维护的参数。 PROFINET发射器可以与OPC UA服务器通信并支持MRP

可互换的传感器头：可轻松更换替换传感器头，并存储校准数据

可选显示屏：大液晶显示屏（EtherCAT、PROFINET 除外）

简单校准：只需按一下按钮或界面即可校准至零压力和大气

LED：用于状态显示和开关点

可扩展的输出特性：0-10 V 输出信号可根据所需特性进行扩展。

意味着无论制造商是谁，都可以轻松更换现有的真空测量设备，并且无需任何编程工作。

如果您想保留电缆但更换发射器，可以使用适配器（例如 FCC68）。

适用于 UHV：采用金属密封不锈钢测量元件，适用于 UHV（He 泄漏率 <5e-10 mbar l/s）

继电器开关点：两个独立、无源继电器开关点（EtherCAT、PROFINET 除外）

坚固：坚固、符合 EMC 标准的金属外壳，防护等级高达 IP54

控制器：可使用2通道控制器VD12或4通道控制器VD14进行扩展

VacuGraph TM软件：用于测量数据的可视化、分析和存储

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THYRACONT VD800紧凑型真空计

读取和分析测量数据为了直接读取测量数据或稍后从数据记录器导出测量系列，除USB-C接口外，VD800还可选配用于无线数据传输的蓝牙®LE。借助Thyracont VacuGraph™软件，用户可以方便地保存和分析测量结果或开始在线测量。

智能解决方案VD800凭借智能能源管理提供较长的电池寿命，并可通过USB-C接口使用标准电源轻松充电。该设备采用全新的模块化设计，使脏污或磨损的传感器头能够由授权专业人员直接在现场轻松更换。因此，维护时间和成本降至低。

紧凑、精确且灵活型号：VD800与外部Thyracont USB发射器结合使用，因此特别适用于成角度的系统或读取多个安装的传感器。VD810使用内部电阻陶瓷传感器进行测量，无论粗真空范围内的气体类型如何。在VD850中，内部压电/皮拉尼组合传感器以高分辨率和准确度记录粗真空和细真空中的宽测量范围。

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THYRACONT VD8真空表

VD8系列中的所有紧凑型真空计都可以选择用作数据记录器，并在测量过程中独立于PC保存压力值。

数字真空计的显示屏显示精确的绝对压力。温度补偿传感器和先进的评估电子设备可确保精确且可重复的测量结果。

VD84型号在螺旋电缆上配有外部皮拉尼传感器，因此特别适合缠绕系统。此外，VD84还可用于快速检查，例如B.可用于检查多个测量点的压力。外部传感器简单地安装在相应的系统上。

VacuGraph可轻松实现数据可视化和分析。特别是对于质量保证，例如例如，为了进行审计，可以保存并比较泵送曲线。使用压力增加法计算泄漏率的工具等实用功能使真空软件更加。

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THYRACONT Smartline数字真空变送器

RS485接口，0-10 V、EtherCAT或PROFINET

两个独立的继电器开关点

用于指示状态和开关点的LED

用于重新调整和脱气的控制按钮

可选液晶显示屏

2和4通道控制器

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THYRACONT紧凑型USB-C真空发射器

其扩展的测量范围使变送器适合各种应用。它们在整个测量范围内具有出色的再现性，确保了高水平的可靠性和稳定的过程。

由于坚固的金属外壳和防护等级为IP40的插头，这些设备非常适合恶劣的工业环境。

测量数据可通过USB-C接口快速、轻松地读出。还可以对大气压或零压力进行精确的数字调整。发射机自动识别它是哪个调整点。

VacuGraph™软件可轻松实现测量数据的可视化和分析。除此之外，还可以比较或保存测量曲线以保证质量。原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

该软件由Android应用程序VacuSniff™进行补充。

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THYRACONT PVC离子计/真空系统控制器

1 x UHV离子测量管(PVCuni)或2 x UHV离子测量管(PVCduo)

2个模块插槽，用于附加皮拉尼真空计（VSP52x、VSP84x）或有源0-10 V变送器

直观的菜单驱动操作

自动排放控制或11种手动排放设置

斜坡状功率脱气功能，脱气时压力测量

集成的、安全的多步烘烤控制器

2个用户可定义的开/关定时器

用户可定义的互锁集线器、7个数字输出和4个数字输入

测量值以压力单位显示，或者直接作为离子电流（包括发射校正）显示，用于束通量监测(BFM)

RS232/RS485接口，可通过菊花链轻松联网

通过基于二进制MODBUS和ASCII的QueBUS进行计算机控制

2 x 0-10V模拟输出

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带压电/皮拉尼组合传感器的 VSR 真空变送器

宽测量范围：得益于压电/皮拉尼组合传感器

精确：在粗真空和精真空范围内均具有高精度和较佳分辨率

可靠：出色的再现性和长期稳定性

快速：响应时间短，可达 40 ms

保护良好：集成金属盖可防止油或溶剂蒸汽等污染

稳定：由于优化的温度补偿，测量值稳定

与气体类型无关：超过 20 mbar 的气体类型独立测量和皮拉尼传感器的可调节气体类型校正系数

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USB-C 真空发射器

VSCUSB 真空变送器 、Abs. 2000 至 1 mbar 、Rel. -1060 至 + 1200 mbar 、USB 接口

凭借其 USB-C 接口，带压电传感器的真空发射器 VSC 可以特别轻松、快速地集成到系统中。

带USB-C接口的VSC真空变送器概述：

带 FKM 密封件的耐化学腐蚀陶瓷测量元件，可测量 2000 至 1 mbar 范围内的绝对压力以及 -1060 至 + 1200 mbar 范围内的相对压力测量

高可靠性和长期稳定性

测量与气体类型无关

长 20 ms 的快速响应时间可缩短时钟周期

对污染不敏感

原装THYRACONT真空传感器VSR53D真空计开关

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USB真空变送器：

通过 USB-C 快速轻松地连接

通过软件或应用程序进行直观操作

很好的再现性和可靠性，实现稳定的工艺

由于微处理器控制和单独的温度补偿，具有出色的精度和高测量稳定性

可通过 USB 对大气压或零压力进行精确的数字调整

通过 LED 进行光学状态显示

将功能精简到真正需要的功能，使紧凑型真空变送器具有较佳的性价比

由于其坚固的金属外壳，该变送器非常适合恶劣的工业环境

紧凑的工业设计，因此非常适合空间有限的应用

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无源真空传感器

VSP 无源传感器 、100 至 1e-3 mbar

无源真空传感器 VSP841 和 VSP842 测量高真空范围内的绝对压力。坚固耐用的热传导传感器采用小型化设计，结构紧凑，经过预校准和温度补偿。

适用于稳压和无源桥电路以及作为真空绝缘的持久安装监控传感器；测量值由VD84（紧凑型真空计和数据记录器）读出。

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皮拉尼无源真空传感器 VSP 

具有成本效益的紧凑型皮拉尼传感器，具有持久的弹性螺旋灯丝

集成金属盖可防止油或溶剂蒸汽等污染

体积非常小

集成温度传感器

可选配盖子以防尘和防潮

由于采用金属密封不锈钢测量元件，因此适用于 UHV（He 泄漏率 <5e-10 mbar l/s）

传感器预校准

通过小型不锈钢法兰 DN 16 ISO-KF (VSP841) 或 1/8" NPT 外螺纹 (VSP842) 进行真空连接

用于紧凑型真空计VD84 的外部传感器头

根据要求提供评估电路建议

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PVC 离子计/真空系统控制器

1 x UHV 离子测量管 (PVCuni) 或 2 x UHV 离子测量管 (PVCduo)

2 个模块插槽，用于附加皮拉尼真空计（VSP52x、VSP84x） 或有源 0-10 V 变送器

直观的菜单驱动操作

自动排放控制或 11 种手动排放设置

斜坡状功率脱气功能， 脱气时压力测量

集成、 安全的 多步烘烤控制器   

2 个用户可定义的开/关 定时器

用户可定义的互锁集线器、   7 个数字输出和 4 个数字输入

测量值以压力单位显示，或者直接作为离子电流（包括发射校正）显示，用于束通量监测 (BFM)

RS232/RS485 接口，可通过菊花链轻松联网

通过基于二进制 MODBUS 和 ASCII 的 QueBUS进行计算机控制

2 x 0-10V 模拟输出

应用领域

高压和特高压系统 中的过程控制、压力和联锁监测   

MBE 光束 -通量 监测 (BFM)

特高压系统的自动化 控制   

从特高压系统的加热控制

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真空开关

VRC 电子真空开关 、压电式 、1200 至 1 mbar

电子真空开关 VRC 用作安全开关或用于在低真空中直接切换泵或阀门。通过另外输出测量信号，还可以轻松地监控过程。

超高真空离子规控制器

PVC 离子计/真空系统控制器 、用于无源 UHV 热阴极

PVC 过程真空控制器，用于一个或两个无源热阴极传感器和一系列插件模块，用于控制附加无源皮拉尼传感器 VSP521/VSP841 或模拟或 Smartline 的有源 0-10V 真空变送器。还提供合适的热阴极传感器、用于烘烤控制的热电偶温度传感器等附件以及传感器电缆。

真空计VD800

可移动用于服务和维护目的

与外部 Thyracont USB 真空发射器配合使用，实现各种测量范围

非常适合缠绕系统或检查多个测量点的压力

通过压力增加测量确定泄漏率

通过使用有源发射器获得精确的测量结果

电池寿命长

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THYRACONT产品型号

供应THYRACONT真空传感器VSP63MV

德国THYRACONT VD83M、VSP52MA4、VSP62，VD81，VD83M

德国THYRACONT VCC200，VSP52MA4，VSP62，VSP841/842

Thyracont数字真空表VD82EXP(1～1050)mbar

德国THYRACONT VRCI电子真空开关

德国THYRACONT VD6S2115真空控制器115 VAC

德国THYRACONT PVC离子计/真空系统控制器

德国THYRACONT紧凑型USB-C真空发射器

德国THYRACONT Smartline数字真空变送器

德国THYRACONT VD8真空表

德国THYRACONT VD800紧凑型真空计

THYRACONT真空控制器VD12

THYRACONT真空开关VRC

THYRACONT真空计VD81

THYRACONT真空传感器VSH

VSH系列

VD81

VD83

VD84

VRC

VD12

VD14

VD6S2115

VD6S2230

VSP63MV

VCP63MV

VSP62MVSW

VSP63MA4

VD8ZUB

VSG系列

VSC系列