Smartline智能数字真空变送器

Smartline智能数字真空变送器是 Thyracont 旗舰数字真空变送器系列，采用先进组合传感器技术，测量范围覆盖 1200 至5×10⁻¹⁰ mbar。

Smartline 真空变送器采用高效微控制器，搭配压电（Piezo）、皮拉尼（Pirani）、冷阴极（Cold Cathode）和热阴极（Bayard-Alpert型）传感器。所有型号支持可更换传感器头，校准数据即插即用，现场快速更换，无需重新编程。

Thyracont 是真空测量行业提供符合 OPC UA 标准产品的制造商。所有PROFINET型号支持MRP，实现从I/O层到ERP层乃至云端的双向无损数据传输，助力高效过程优化与预测性维护。

Smartline智能数字真空变送器广泛应用于半导体制造、薄膜镀膜、真空炉、冷冻干燥、激光焊接、质谱分析及科研领域。所有接液部件采用不锈钢，氦泄漏率<5×10⁻¹⁰ mbar·l/s。通过CSA/UL认证。

传感器参数：

电子部件参数：

核心功能与兼容性

预测性维护：通过RS485/PROFINET监测传感器磨损程度、腐蚀状态、上次校准时间及运行小时数。主动规划维护周期，优化系统运行时间。所有参数可通过VacuGraph™软件或PROFINET网络配合PLC直接访问。

接触材料：VSR: SS 1.4307, W, Ni, 玻璃, 金, 氧化硅 · VCR/VCP: SS 1.4307, PtRh, Ni, 玻璃 · VSM: SS 1.4307, W, Ni, 玻璃, Mo, Al₂O₃ · VSH: SS 1.4307, W, Ni, 玻璃, Pt, Ir, 氧化钇

技术参数：响应时间40-50 ms（冷阴极启动<2s）· 存储温度：-40°C 至 +65°C · 烘烤温度：125-180°C（型号相关，需断电）

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