全自动多功能扫描聚焦 X 射线光电子能谱

产品特点

• 易操作式多功能选配附件
  

• 全自动样品传送停放

• 高性能大面积和微区 XPS 分析

• 快速精准深度剖析

• 为电池、半导体、有机器件以及其他各领域提供全面解决方案

简单易操作

PHI GENESIS 仪器高性能、全自动化、简单易操作。操作界面可在同一个屏幕内设置常规和高级的多功能测试参数，同时保留诸如进样照片导航和 SXI 二次电子影

像精准定位等功能。

简单友好的用户界面

PHI GENESIS 提供了一个简单、直观且易于操作的用户界面，对操作人员非常友好，操作人员执行简单的设置操作即可完成包括所有选配附件在内的自动化分析。

多功能选配附件

原位的多功能自动化分析，涵盖了从LEIPS 测试导带到 HAXPES 芯能级激发的全范围技术，相比于传统的 XPS 而言，PHI GENESIS 体现了性能价值。

全面的优良解决方案 :

高性能 XPS、UPS、LEIPS、REELS、AES、GCIB 及多种其他选配附件可以满足所有表面分析需求。

多数量样品大面积分析

-多数量样品大面积分析

- 把制备好样品的样品托放进进样腔室后将自动传送进分析腔室内

- 可同时使用三个样品托

- 80mm×80mm 的大样品托可放置多数量样品

- 可分析粉末、粗糙表面、绝缘体、形状复杂等各种各样的样品

unique可聚焦≤ 5μm 的微区 X 射线束斑

在 PHI GENESIS 中，聚焦扫描 X 射线源可以激发二次电子影像（SXI），利用二次电子影像可以进行导航、精准定位、多点多区域同时分析测试以及深度剖析。

大幅提升的二次电子影像（SXI）

二次电子影像（SXI）精准定位，保证了所见即所得。的 5μmX 射线束斑为微区 XPS分析应用提供了新的机遇。

快速深度剖析

PHI GENESIS 可实现高性能的深度剖析。聚焦 X 射线源、高灵敏度探测器、高性能氩离子枪和高效双束中和系统可实现全自动深度剖析，包括在同一个溅射刻蚀坑内进行多点同时分析。

高性能的深度剖析能力

( 下图左 ) 全固态电池薄膜的深度剖析。深度剖面清晰地显示了在 2.0 μm 以下富 Li 界面的存在。( 下图右 ) 在 LiPON 膜沉积初期，可以看到氧从 LiCoO2 层转移到 LiPON 层中，使 Co 在 LiCoO2 层富 Li 界面由氧化态还原为金属态。

角分辨 XPS 分析

无需溅射刻蚀的深度探索

下一代透明发光材料使用直径约为 10nm~50nm 的纳米量子点（QDs），结合使用XPS（Al Kα X 射线）和HAXPES（Cr Kα X 射线）对同一微观特征区域进行分析，可以对 QDs 进行详细的深度结构分析。XPS 和 HAXPES 的结合使用，可以对纳米颗粒进行

深度分辨、定量和化学态分析，从而避免离子束溅射引起的损伤。

深层界面的分析

应用领域

主要应用于电池、半导体、光伏、新能源、有机器件、纳米颗粒、催化剂、金属材料、聚合物、陶瓷等固体材料及器件领域。用于全固态电池、半导体、光伏、催化剂等领域的功能材料都是复杂的多组分材料，其研发依赖于化学结构到性能的不断优化。ULVAC-PHI, Inc. 提供的全新表面分析仪器 “PHI GENESIS” 全自动多功能扫描聚焦 X射线光电子能谱仪，具有性能、高自动化和灵活的扩展能力，可以满足客户的所有分析需求。

PHI GENESIS 多功能分析平台在各种研究领域的应用