纳米压痕仪

基础参数

类型/使用：在真空（SEM,部分真空，惰性气体）中，在空气中
主要缩进模式：真正的位移
测试协议的适应性：可定制软件
升级选项/扩展功能：高温和超高应变率模块

缩进
缩进提示：Berkovich，Cube Corner，Flattop，Wedge，Spherical 等
缩进范围：40μm
位移噪底：<1nm
负载范围：500mN 标准/可选 1.5N
加载本底噪声：4μN/12μN RMS 噪声
窦状模式：200Hz 的位移模式
压痕简介：操作员可以自由定义任何轮廓（位移或载荷）

样品顶端对齐
压头尖远程方法：22mm 范围，1nm 分辨率（闭环）
自动接近模式：超过几毫米
采样位置范围：26x26mm，1nm 分辨率（闭环）
压痕面积（推荐） 10x10mm
室温下的漂移：5nm/min（在真空中）

超高应变率模块
应变率：达 3000s -1
窦状模式：开环 10kHz
启动范围：1μm
测量范围：1N
加载本底噪声：30μN RMS 噪声

高温模块

高温度范围：标准 600℃/可选 800℃
在 600℃时的漂移：10nm/min
在 600℃时的稳定时间：<3 小时
压头尖材料：金刚石，立方氮化硼，蓝宝石，碳化钨等
温度稳定性：10mK 分辨率