两联三通隔膜阀 气体隔膜阀

两联三通隔膜阀，集成式设计，紧凑型阀体，吹扫效率高，内部无螺纹和无弹簧设计，死体积小清洁度高，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

阀体                       316L /316L（VIM+VAR） 
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫                   PCTFE 

工作压力                真空至 150psig
爆破压力                3000psig
流量系数                0.3
工作温度                -10～80℃
内漏率                   ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率                   ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
内表面粗糙度         Ra≤0.1μm

适合超高纯度气体应用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重复执行的气动执行机构
每台阀门进行单独的氦质谱检测
超长使用寿命内部无螺纹和无弹簧设计大幅减少了杂质的生成和气体的卷入