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波前测试仪-紫外光

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2026-05-13上海
型号
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产品简介
波前测试仪-紫外光
详细信息

SID4 UV-HR(紫外光

基于相位的技术, 在190纳米到400纳米波段,SID4 UV-HR波前分析仪(在紫外光谱范围内)具有超高的分辨率(250 x250)和的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……)

主要特点

.超高分辨率 250×250

.高灵敏度  0.5nm RMS

.大型分析孔 8.0×8.0mm

.可以直接对光学器件表面进行测量

推荐用途

.紫外激光器:光束的测量和校正

.光学:紫外线光学(半导体)测试和表面测量

SID4 UV-HR的详细规格

SID4 UV-HR

单位

数据

波长范围

nm

190-400

框口尺寸

mm^2

8.0*8.0

空间解析度

Um

32

相位和强度抽样

250*250

分辨率

nmRMS

0.5

精密度

nmRMS

10

采集率

fps

>30

实时处理频率

fps

1

规模(w*h*l)

mm

95*105*84

重量

g

900

羽宸光电 UV wavefront analyzer _ Phasics.pdf

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