二次离子飞行时间质谱测试（TOF-SIMS）

仪器名称：

二次离子飞行时间质谱仪（TOF-SIMS）

德国IONTOF TOF.SIMS 5

检测项目：

（1）深度分辨率：几个纳米；（2）空间分辨率：<一个微米；（3）质量分辨率：m/m5000（4）检测灵敏度：ppmppb；（5）绝缘层厚度为几个微米的样品质谱分析

应用范围：

（1）样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析；（2）样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析；（3）样品组分和杂质元素面分布的离子图象；（4）多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析；（5）厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析

制样要求：

粉末样品50mg即可，块状样品长宽1cm以内，厚度5mm以内。

如果样品比较容易氧化或者吸水请提前联系客服，需要真空封装好提前预约时间测试。样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性。建议样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。