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VIL1000 激光干涉光刻机
具体成交价以合同协议为准
2026-05-03上海
- 型号
- VIL1000
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产品简介
激光干涉光刻机
详细信息
VIL系列纳米图形系统（激光干涉光刻机）具有快速可重构光束传输、主动图形稳定和精确样品定位等功能。该系统可以通过使用标准2cm×2cm正方形或用户定义形状的图案场进行重复曝光，在8英寸大面积上产生各种纳米结构，例如1D光栅线和2D柱/孔图案，周期从240 nm到1500 nm。
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