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JKZC-UVZ-10B三自由度晶圆调节台
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2026-04-23北京市
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产品简介
音圈电机驱动三自由度晶圆调节台，属于三轴并联运动机构。通过三个线性移动轴的并联运动实现Z轴线性运动和θxθy轴旋转运动。可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂运动。
详细信息
JKZC-UVZ-10B三自由度晶圆调节台
音圈电机驱动三自由度晶圆调节台，属于三轴并联运动机构。通过三个线性移动轴的并联运动实现Z轴线性运动和θxθy轴旋转运动。可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂运动。
1、典型应用
品圆检测与量测
硅片对准与定位
显微操作
视觉伺服
大视场成像
半导体封装。
芯片与器件测试
光学对准与操作
MEMS制造与检测
激光加工
2、技术特点
高精度:音圈电机具有较高的定位精度和重复定位精度，可以满足高精度应用的需求。
高响应速度:音圈电机的响应速度快，可以快速响应控制信号，实现快速运动。
高可靠性:音圈电机的结构简单，故障率低，具有较高的可靠性。
低噪音:音圈电机的运行噪音低，适合在需要低噪音的场合使用。
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-UVZ-10B | ||
运动轴 | θx,θY,Z | |
驱动类型 | 音圈电机 | |
θx/θY偏转角度 | ±12.5 | mrad |
Z闭环行程 | 3 | mm |
θx/θY重复定位精度 | 15 | μrad |
Z向重复定位精度 | 15 | nm |
竖直最大负载 | 1 | kg |
整定时间 | ≤100 | ms |
无负载谐振频率 | 160 | HZ |
传感器类型 | 光栅编码器 | |
自重 | 8 | kg |
尺寸(LxWxH) | φ280x72 | mm |
工作温度 | -20-100 | ℃ |
电气接口 | D-sub9(可定制) | |
线缆长度 | 2 | m |
真空(可选) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
5、适配控制器
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