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*的高精度轮廓测量仪
| 货号 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 | ||
| CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500S8 | CV-4500H8 | CV-4500W8 | |||
| 测量 范围 | X 轴 | 100mm | 200mm | |||||
| Z1 轴(检出器) | 60mm (水平位置±30mm) | |||||||
| Z2 轴 (立柱) 移动范围 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | ||||
| Z1 轴 (检出器) | 光栅尺类型 | 弧形 | ||||||
| 分辨力 | CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm | |||||||
| 测针上/ 下运作 | 弧形移动 | |||||||
| 测量方向 | 向前/ 向后 | |||||||
| 测针方向 | CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量) CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整) | |||||||
| 测力 | CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量) CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换) | |||||||
| 跟踪角度 | 向上: 77º, 向下: 83º(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针*1) | |||||||
| 驱动部 | 长度基准 | X 轴 | 激光全息光栅尺 | |||||
| Z2 轴 (立柱) | ABS 光栅尺 | |||||||
| 分辨力 | X 轴 | 0.05 µm | ||||||
| Z2 轴 (立柱) | 1 µm | |||||||
| 驱动速度 | X 轴 | 0 - 80mm/s 外加手动 | ||||||
| Z2 轴 (立柱) | 0 - 30mm/s 外加手动 | |||||||
| 测量速度 | X 轴 | 0.02 - 5mm/s | ||||||
| 直线度*2 | X 轴 | 0.8µm/100mm | 2µm/200mm | |||||
| 倾角范围 | X 轴 | ±45º | ||||||
| 精度 (20ºC) | CV-3200 系列 | X 轴 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm | ||||
| Z1 轴(检出器) | ±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm) | |||||||
| CV-4500 系列 | X 轴 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm | |||||
| Z1 轴(检出器) | ±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm) | |||||||
| 外形尺寸 (W×D×H) | 主机*3 | 756×482x 966mm | 756×482x 1166mm | 1156×482 x1176mm | 766×482 x966mm | 766×482 x1166mm | 1166×482 x1176mm | |
| 重量 | 主机 | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg | |