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材料整体验证机LD-1 真空镀膜设备真空泵
具体成交价以合同协议为准
2026-03-19合肥市
- 型号
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产品简介
材料整体验证机LD-1
详细信息
| 基本信息 | ||
| 项目 | 参数 | 备注 |
| 基板尺寸 | 200x200mm/100x100mm |
|
| 旋转速率 | 0-30 rpm |
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| 基板高度调节 | 0-150mm |
|
| 设备整体尺寸 | 4000x7000x2300mm |
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| 蒸发舟数量 | 根据使用情况具体设计 |
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| 低温蒸发源 | 5-20cc @400℃ |
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| 高温蒸发源 | 5-40cc @1400℃ |
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| 前级泵 | 20000L/min 干泵 | 可根据工艺选配 |
| 主泵 | 1700 L/s 分子泵 | 可根据工艺选配 |
| 本底真空度 | 9E-7 Torr |
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本系统可满足真空洁净环境下制作OLED相关器件，可配套器件验证，从而整体验证OLED材料性能。
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