Nova Nano SEM 实验室仪器FEI Nova Nano SEM 场发射扫描电子显微镜

实验室仪器FEI Nova Nano SEM 场发射扫描电子显微镜主要特点

1. 超高分辨率Schottky场发射电子枪 

2. 超高分辨率低真空场发射扫描电镜. 具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式. 

3. 对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析 

4. 无油真空系统 

5. 可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能 

6. FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面

技术参数

1. 分辨率 

高真空模式　1.0nm @ 15kV 

　　　　　　1.8nm @ 1kV 

　　　　　　0.8nm @ 30kV(STEM探测器) 

低真空模式　1.5nm @ 10kV(Helix探测器) 

　　　　　　1.8nm @ 3kV(Helix探测器) 

2. 加速电压 200V - 30kV,连续可调 

3. 电子束流范围 0.3pA - 100nA, 连续可调 

4. 样品台移动范围 

Nova NanoSEM 230: X=Y=50mm 

Nova NanoSEM 430: X=Y=100mm 

Nova NanoSEM 630: X=Y=150mm