VF1120数字型气体 精密气体流量阀

数字型气体质量流量控制器

技术参数

量程:  5sccm～300oslm(N2当量)

精度:  ±1.0%F.S

量程比: 50:1(流量控制器）100:1(流量计）

重复精度: ±0.2%F.S

线性精度: ±0.5%F.S

环境温度: 5～45℃

温度系数: <±0.1%F.S/℃

压力系数: <±0.5%bar

泄漏率: <2*10^-8atm.ml/S

耐压: 3MPa（流量小于30slm可选6MPa)

供电:  24vdc或±15vdc

模拟信号: 0～5vdc或4～20mA

数字信号:  液晶显示RS232RS、485(Modbus-RTU)

连接方式:  卡套式连接或VCR连接

(连接尺寸根据客户需求而定)