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参考价:
具体成交价以合同协议为准

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产品使用范围:
匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用 于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。
技术参数:
旋涂仪 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 操作方式 | 按键+液晶屏 |
转速 | 0~8000rpm | 滴胶方式 | 手动滴胶,可选购精密注射泵 | |
加速度 | 100~5000rpm/s | 匀胶曲线 | 每条曲线5段,共可储存5条曲线 | |
转速分辨率 | 1rpm | 抽气接口 | φ6mm快拧接口 | |
单步时间 | 3000s | 整机尺寸 | 210mm×250mm×180mm | |
基片尺寸 | 直径≤4英寸(100mm) | 整机重量 | 8kg | |
腔体材质 | PP腔体 | |||
排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 | ||
抽气速率 | 50L/min | |||
供电电源 | AC220V 50/60Hz | |||