$item.Name

首页>实验仪器>气体发生/处理>臭氧发生器

参考价:

  • 面议

掺氟锡氧化物CVD用发生器

具体成交价以合同协议为准

2026-07-22苏州市
型号
苏州阿洛斯环境发生器有限公司

免费会员 生产厂家

该企业相似产品
香烟烟雾发生器,甲醛发生器,voc发生器,工业voc发生器,水蒸气发生器,湿度发生器
产品简介
设备配备预压料桶、与大气隔离的泵模组、高稳定/耐腐蚀蒸发器以及一体化设计的嵌入式预热器
详细信息

    设备配备预压料桶、与大气隔离的泵模组、高稳定/耐腐蚀蒸发器以及一体化设计的嵌入式预热器。液态前驱体经过蒸发段气化,随后调温输出。输出组分进一步分布或混合,为CVD工艺提供气态原料。前驱体接触的材质均采用耐腐蚀材料。

     PLC控制系统,Ethernet通讯,与CVD生产线主控系统通讯。



含锡前驱体

60

sccm

含氟前驱体

≤20

sccm

H2O

60

sccm

功率

7.5

kW



相关技术文章

同类产品推荐

提示

仪表网采购电话

温馨提示

该企业已关闭在线交流功能

请拨打电话联系