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七星D07系列质量流量计 低流量精密气体流量计
具体成交价以合同协议为准
2025-12-28南京市
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产品简介
质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制
详细信息
质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点，其操作使用方面，可任意位置安装，并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产片配套使用，控制器与显示仪之间用专用电缆连接。项目/型号
D07-11B
D07-11BM
流量规格
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM准确度
±1%F.S
±1.5%F.S
线性
±（0.5~1）%F.S
±（0.5~1.5）%F.S
重复精度
±0.2%F.S
±0.2%F.S
响应时间
电特性：10sce
气特性：（1~4）sce10sce
工作压差范围
（0.2~0.8）MPa
气压降＜0.01MPa
耐压
10MPa
10MPa
工作环境温度
5℃~45℃
5℃~45℃
输入输出信号
0V~+5.00V
（输入阻抗大于100K，输出电流大于3mA）0V~+5.00V
（输入阻抗大于100K，输出电流大于3mA）电源
+15V 50mA
-15V 200mA+15V 50mA
-15V 50mA重量
1.1Kg
0.92Kg
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