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三维形貌测量仪NH系列
具体成交价以合同协议为准
2025-12-28北京市
- 型号
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产品简介
日本Mitaka（三鹰光器）三维形貌测量仪NH系列，使用激光自动对焦技术在半导体工业和超精密加工领域得到广泛应用。通过光学非接触式的测量，可以全自动并高精度的测量工件的三维形貌。
详细信息
品牌简介
日本mitakakohki（三鹰光器）将深耕多年天文和医学领域精密光学技术，应用于工业领域。
使用激光自动对焦的非接触式三维测量设备在半导体工业和超精密加工领域得到广泛应用。
产品特点
非接触式不受样品材质、表面结构的影响
可测量多反射率产品
可测量大倾斜角度样品
数十um到数百mm宽视野范围
规格参数
XY分辨能力：0.1um、0.01um（型号 ：NH-3SPs）
Z分辨能力：0.01um、0.001um（NH-3SPs）
XY测定范围：150mm（NH-3Ns/NH-3SPs）、200mm（NH-4Ns）、400mm（NH-5Ns）
Z测定范围：10mm
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