ZTFT-3000型铁电测试仪

ZTFT-3000型铁电测试仪是新一代铁电测试仪，采用集成电路设计，软件丰富多元化设计，具备DHM动态电滞回线，C-V曲线，LM漏电曲线，FM疲劳曲线，PM脉冲测量，IM印迹，RM保持力，BDM击穿保护，可扩展TSD热释电系数，TSDC热刺激电流，DTS介电温谱，ECM电卡效应，RT电阻测量，POM油浴极化。采用模块化设计，即可独立又可组合，是目前试验室重要材料测量设备。

一、铁电测试主机主要性能

整套系统可以测试块体材料在室温到200℃，电压±5kV电流2mA以内的铁电、压电性能。可以测试的铁电性能包括：动态电滞回线、电滞IV曲线、疲劳曲线、漏电流曲线、C-V曲线、损耗曲线，变温测试功能。

二、测试功能要求

1. 电滞回线测试

测试电压：0～±5kV（其中主机输出0～100V，用于薄膜测试；接电压放大器输出0～±5kV，用于块材测试）；

测量频率：0.1Hz~10kHz；

电荷测量解析度范围: 0.80pC~5.26mC；

材料测量面积解析度范围0.080μm² ~50cm²；

在使用外部高压电源时，测量电荷的解析度为526mC。

2. 记忆特性测试

电压范围：0～5V

五脉冲系列测试铁电体记忆特性；

脉冲测试:0.5us~1s；

0V上升到5V的时间: 500ns；

5个脉冲的电压,预设直流偏压和偏置时间可以任意设定，最小脉冲宽度2.5MHz；

脉冲之间可以设定40000秒的延迟。

3. 漏电流测试

可进行漏电流-偏置电压测试和漏电流-时间测试；

分辨率:1pA；

漏电流测试:0-12.5mA。

4. 疲劳测试

疲劳测量频率:0- 100kHz；

脉冲宽度:0-0.5us；

可以通过外接任意波形产生器使疲劳测试频率提升到1MHz以上。

三、10KV高压测试模块

1. 配有用于块体材料测试的±5KV高压放大器，电压±5KV，电流2mA，频率400Hz，精度要求优于满量程的0.3%；

2. 配有独立的高压保护回路装置，高电压下保证主机和测试头免受破坏，同时起到测试主机与高压放大器通信功能；

3、配有常温高压块体测试夹具，耐压0-5kV，具有良好绝缘性，可放置硅油。

四、块材压电测试模块

1．配有位移测试系统，配合铁电测试主机要求达到测试解析度0.6nm；

2. 配压电体材料样品盒：室温到200℃，耐压范围：0-10kV，带有位移反射面；

3．配压电测试软件, 可进行测量程序设定和数据图形存储，得出压电蝴蝶曲线。

五、数据采集分析软件

1. 能准确测量并绘制铁电薄膜的电滞回线，定量得到铁电薄膜材料的饱和极化Ps、剩余极化Pr、矫顽场Ec、漏电流等参数;

2. 可以进行铁电薄膜材料的铁电疲劳性能、记忆性能、铁电保持性能的测试，电阻测量，漏电流测量与绘制。