SGAT 真空泵

一、工作原理与分类

气体传输泵

变容真空泵：通过周期性改变泵腔容积实现抽气，如旋片泵（油封式）、滑阀泵、往复式活塞泵等。例如，旋片泵通过转子偏心旋转带动旋片滑动，将气体压缩后排出。

动量传输泵：依靠高速射流或旋转叶片传递动量，如扩散泵（利用油蒸气射流）、分子泵（涡轮转子高速旋转）等，适用于高真空环境。

气体捕集泵

吸附泵：通过多孔吸附剂（如分子筛）物理吸附气体分子。

低温泵：利用液氦或制冷机冷却的冷板凝结气体，适用于超高真空。

二、核心特点

宽压力范围：部分泵型（如罗茨泵）在较宽压力区间内保持高抽速。

无油设计：干式螺杆泵等无需油润滑，减少污染，适合洁净工艺。

结构复杂性：如转子表面需精密加工，对氢气抽气效率较低