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参考价:
具体成交价以合同协议为准

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| | LT2.100 | LT2.200 | LT2.300 |
| 运动范围XY(µm) | 100 | 200 | 300 |
| 分辨率XY(nm) | 0,1 | 0,2 | 0,3 |
| 典型的噪声基准 XY(nm) | 0,01 | 0,02 | 0,03 |
| 的重复性XY(nm) | 0,2 | 0,4 | 0,6 |
| 线性化(典型的) | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
| 谐振频率X / Y(Hz) | 500/400 | 400/350 | 300/250 |
| 刚度 (N/µm) | 0,6/0,5 | 0,5/0,4 | 0,4/0,3 |
| 负载(kg)-水平使用 | 1 | 1 | 1 |
| 负载(kg)-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| 传感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
| 尺寸W x L x H (mm) | 155,5 x 152,5 x 15,5 | 155,5 x 152,5 x 15,5 | 155,5 x 152,5 x 15,5 |
| 材料 | Al or Invar | Al | Al |
| 电缆长度(m) | 2 | 2 | 2 |
| 推荐控制器 | Standard | Standard | Standard |